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EP About this file: EP2764408

EP2764408 - CHUCK, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF USING A CHUCK [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  10.07.2020
Database last updated on 02.11.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  19.07.2019
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  02.05.2019
FormerExamination is in progress
Status updated on  13.07.2018
Most recent event   Tooltip01.07.2022Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 03.08.2022  [2022/31]
Applicant(s)For all designated states
ASML Netherlands B.V.
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[2014/33]
Inventor(s)01 / GILISSEN, Noud
Wagenaarhof 6
NL-2692 BK 's-Gravenzande / NL
02 / SIJBEN, Anko
Tijmveld 63B
NL-5467 NA Veghel / NL
03 / CORNELISSEN, Bas
Eimerick 54
NL-5653 RN Eindhoven / NL
04 / NOTENBOOM, Arnoud
De Dauwkade 9
NL-5247 MV Rosmalen / NL
05 / VAN DER WILK, Ronald
Het Groen 23
NL-5511 AC Knegsel / NL
06 / SCHMITZ, Roger, Wilhelmus, Antonius, Henricus
Leeuwenborchweide 26
5709 SC Helmond / NL
07 / WILL, Manon, Elise
Snoekstraat 19
5615 SZ Eindhoven / NL
 [2014/33]
Representative(s)Slenders, Petrus Johannes Waltherus
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
De Run 6501
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[N/P]
Former [2014/33]Slenders, Petrus J. W.
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
Application number, filing date12766409.219.09.2012
[2019/34]
WO2012EP68386
Priority number, dateUS201161544039P06.10.2011         Original published format: US 201161544039 P
[2014/33]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2013050243
Date:11.04.2013
Language:EN
[2013/15]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP2764408
Date:13.08.2014
Language:EN
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 11.04.2013 takes the place of the publication of the European patent application.
[2014/33]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2764408
Date:21.08.2019
Language:EN
[2019/34]
Search report(s)International search report - published on:EP11.04.2013
ClassificationIPC:G03F7/20
[2014/33]
CPC:
G03F7/70708 (EP,US); G03F7/707 (US); G03F7/70875 (EP,US);
G03F7/70908 (US); G10L15/08 (EP,US); H01L21/6831 (EP,US);
G10L2015/223 (EP,US) (-)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2014/33]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
TitleGerman:HALTEVORRICHTUNG, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DER HALTEVORRICHTUNG[2019/19]
English:CHUCK, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF USING A CHUCK[2014/33]
French:PORTE-SUBSTRAT, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ D'UTILISATION D'UN PORTE-SUBSTRAT[2014/33]
Former [2014/33]SPANNFUTTER, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DES SPANNFUTTERS
Entry into regional phase06.03.2014National basic fee paid 
06.03.2014Designation fee(s) paid 
06.03.2014Examination fee paid 
Examination procedure06.03.2014Examination requested  [2014/33]
25.09.2014Amendment by applicant (claims and/or description)
12.07.2018Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
09.11.2018Reply to a communication from the examining division
03.05.2019Communication of intention to grant the patent
09.07.2019Fee for grant paid
09.07.2019Fee for publishing/printing paid
09.07.2019Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  12.07.2018
Opposition(s)03.06.2020No opposition filed within time limit [2020/33]
Fees paidRenewal fee
26.09.2014Renewal fee patent year 03
25.09.2015Renewal fee patent year 04
22.09.2016Renewal fee patent year 05
26.09.2017Renewal fee patent year 06
25.09.2018Renewal fee patent year 07
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU19.09.2012
AL21.08.2019
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CZ21.08.2019
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EE21.08.2019
ES21.08.2019
FI21.08.2019
HR21.08.2019
IT21.08.2019
LT21.08.2019
LV21.08.2019
MC21.08.2019
MK21.08.2019
MT21.08.2019
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NL21.08.2019
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