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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2981816

EP2981816 - METHOD OF MANUFACTURING A SENSOR DEVICE HAVING A POROUS THIN-FILM METAL ELECTRODE [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 25.01.2019 Database last updated on 31.08.2024
Former	The patent has been granted Status updated on 16.02.2018
Former	Grant of patent is intended Status updated on 13.09.2017
Most recent event Tooltip	10.07.2020	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): IS	published on 12.08.2020 [2020/33]
Applicant(s)	For all designated states Robert Bosch GmbH Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart / DE
	[2018/12]
Former [2016/06]	For all designated states Robert Bosch GmbH Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart / DE
Inventor(s)	01 / FEYH, Ando 742 Encina Grande Drive Palo Alto, CA 94306 / US
	02 / O'BRIEN, Gary 4009 Miranda Avenue Palo Alto, CA 94304 / US
	03 / PURKL, Fabian 724 Arastradero Road Apt. 313 Palo Alto, CA 94306 / US
	04 / YAMA, Gary 1520 Gretel Lane Mountain View, CA 94040 / US
	05 / SAMARAO, Ashwin 877 Heathstone Way 708 Mountain View, CA 94040 / US
	[2016/06]
Representative(s)	(deleted)
	[2018/12]
Former [2016/06]	Bee, Joachim Robert Bosch GmbH, C/IPE P.O. Box 30 02 20 70442 Stuttgart / DE
Application number, filing date	13821336.8	20.12.2013
	[2016/06]
	WO2013US76976
Priority number, date	US201261745573P	22.12.2012 Original published format: US 201261745573 P
	[2016/06]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	WO2014100611
	Date:	26.06.2014
	Language:	EN
	[2014/26]
	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP2981816
	Date:	10.02.2016
	Language:	EN
	The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 26.06.2014 takes the place of the publication of the European patent application.
	[2016/06]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2981816
	Date:	21.03.2018
	Language:	EN
	[2018/12]
Search report(s)	International search report - published on:	EP	26.06.2014
Classification	IPC:	G01N27/414, // H01L21/28, H01L29/423	[2017/40]
	CPC:	G01N27/4146 (EP,US); H01L21/28008 (US); H01L29/4238 (US)
	Former IPC [2016/06]	G01N27/414
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2016/06]
Extension states	BA	Not yet paid
	ME	Not yet paid
Title	German:	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SENSORS MIT EINER PORÖSEN DÜNNFILMMETALLELEKTRODE	[2017/40]
	English:	METHOD OF MANUFACTURING A SENSOR DEVICE HAVING A POROUS THIN-FILM METAL ELECTRODE	[2016/06]
	French:	MÉTHODE DE FABRICATION D'UN DÉTECTEUR AVEC UN ELECTRODE MÉTALLIQUE MINCE POREUSE	[2017/40]
	Former [2016/06]	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SENSORVORRICHTUNG MIT EINER PORÖSEN DÜNNSCHICHT-METALLELEKTRODE
	Former [2016/06]	PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF DE CAPTEUR AVEC ÉLECTRODE MÉTALLIQUE POREUSE EN FILM MINCE
Entry into regional phase	22.07.2015	National basic fee paid
	22.07.2015	Designation fee(s) paid
	22.07.2015	Examination fee paid
Examination procedure	22.07.2015	Examination requested [2016/06]
	22.07.2016	Amendment by applicant (claims and/or description)
	14.09.2017	Communication of intention to grant the patent
	09.01.2018	Fee for grant paid
	09.01.2018	Fee for publishing/printing paid
	09.01.2018	Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 14.09.2017
Opposition(s)	02.01.2019	No opposition filed within time limit [2019/09]
Fees paid	Renewal fee
	04.01.2016	Renewal fee patent year 03
	02.01.2017	Renewal fee patent year 04
	02.01.2018	Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	20.12.2013
	AL	21.03.2018
	AT	21.03.2018
	CY	21.03.2018
	CZ	21.03.2018
	EE	21.03.2018
	ES	21.03.2018
	FI	21.03.2018
	HR	21.03.2018
	IT	21.03.2018
	LT	21.03.2018
	LV	21.03.2018
	MC	21.03.2018
	MK	21.03.2018
	PL	21.03.2018
	RO	21.03.2018
	RS	21.03.2018
	SE	21.03.2018
	SI	21.03.2018
	SK	21.03.2018
	SM	21.03.2018
	TR	21.03.2018
	BG	21.06.2018
	NO	21.06.2018
	GR	22.06.2018
	IS	21.07.2018
	PT	23.07.2018
	GB	20.12.2018
	IE	20.12.2018
	LU	20.12.2018
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	CH	31.12.2018
	FR	31.12.2018
	LI	31.12.2018
	[2020/32]
Former [2020/31]	HU	20.12.2013
	AL	21.03.2018
	AT	21.03.2018
	CY	21.03.2018
	CZ	21.03.2018
	EE	21.03.2018
	ES	21.03.2018
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	SE	21.03.2018
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	NO	21.06.2018
	GR	22.06.2018
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Former [2019/48]	AL	21.03.2018
	AT	21.03.2018
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	CZ	21.03.2018
	EE	21.03.2018
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	HR	21.03.2018
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Former [2019/39]	AL	21.03.2018
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Former [2019/26]	AL	21.03.2018
	AT	21.03.2018
	CY	21.03.2018
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	RS	21.03.2018
	SE	21.03.2018
	SI	21.03.2018
	SK	21.03.2018
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Former [2019/03]	AL	21.03.2018
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Former [2018/52]	AL	21.03.2018
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Former [2018/50]	AL	21.03.2018
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	NO	21.06.2018
Cited in	International search	[YA]US2008221806 (BRYANT CRAIG [US], et al) [Y] 7,10 * figures 1-19 * * paragraphs [0027] , [0084] *[A] 1-6,11-16;
		[Y]DE102011002854 (BOSCH GMBH ROBERT [DE]) [Y] 1,2,4-16 * figures 1-12 * * paragraphs [0001] , [0012] , [0044] , [0045] , [0051] , [0077] , [0080] *;
		[XA] - I. FERAIN ET AL, "Metal gate thickness optimization for MuGFET performance improvement", ESSDERC 2008, 38TH EUROPEAN SOLID-STATE DEVICE RESEARCH CONFERENCE, (20080901), doi:10.1109/ESSDERC.2008.4681733, ISBN 978-1-42-442363-7, pages 202 - 205, XP055108623 [X] 1-3,6 * abstract * * page 202, column left, paragraph 2 - column right, paragraph 1 * [A] 4,5,7-16 DOI: http://dx.doi.org/10.1109/ESSDERC.2008.4681733
		[YA] - DAI HONG KIM ET AL, "Gas sensing properties in epitaxial SnO2 films grown on TiO2 single crystals with various orientations", SENSORS AND ACTUATORS B: CHEMICAL, (20100603), vol. 147, no. 2, doi:10.1016/j.snb.2010.03.065, ISSN 0925-4005, pages 653 - 659, XP055109261 [Y] 1,2,4-6,8,9,11-16 * abstract * * page 653, column left, paragraph 2 - column right, paragraph 1 * [A] 3,7,10 DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.snb.2010.03.065

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