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EP2854164

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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2854164

EP2854164 - Substrate processing device and substrate processing method [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 20.12.2019 Database last updated on 11.09.2024
Former	The patent has been granted Status updated on 11.01.2019
Former	Grant of patent is intended Status updated on 11.09.2018
Former	Examination is in progress Status updated on 27.04.2018
Former	Grant of patent is intended Status updated on 15.03.2018
Former	Examination is in progress Status updated on 20.01.2017
Most recent event Tooltip	01.07.2022	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): MK	published on 03.08.2022 [2022/31]
Applicant(s)	For all designated states Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	[2015/14]
Inventor(s)	01 / Matsushita, Jun c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	02 / Nagashima, Yuji c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	03 / Hayashi, Konosuke c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	04 / Miyazaki, Kunihiro c/o Shibaura Mechatronics Corporation 5-1, Kasama 2-chome Sakae-ku, Yokohama-shi Kanagawa / JP
	[2015/14]
Representative(s)	Twelmeier Mommer & Partner Patent- und Rechtsanwälte Westliche Karl-Friedrich-Strasse 56-68 75172 Pforzheim / DE
	[N/P]
Former [2015/14]	Twelmeier Mommer & Partner Patent- und Rechtsanwälte Westliche Karl-Friedrich-Strasse 56-68 75172 Pforzheim / DE
Application number, filing date	14187005.5	30.09.2014
	[2015/14]
Priority number, date	JP20130205172	30.09.2013 Original published format: JP 2013205172
	JP20140141828	09.07.2014 Original published format: JP 2014141828
	[2015/14]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP2854164
	Date:	01.04.2015
	Language:	EN
	[2015/14]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2854164
	Date:	13.02.2019
	Language:	EN
	[2019/07]
Search report(s)	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	16.02.2015
Classification	IPC:	H01L21/67, B08B3/02, B08B3/08	[2018/14]
	CPC:	H01L21/67028 (EP,CN,US); H01L21/02052 (KR); B08B3/08 (US); B08B3/02 (US); H01L21/02307 (KR); H01L21/324 (KR); (+) H01L21/67034 (US); H01L21/6704 (KR); H01L21/67051 (EP,CN,US); H01L21/67098 (KR); H01L21/6715 (KR) (-)
	Former IPC [2015/14]	H01L21/67
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2015/43]
Former [2015/14]	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Title	German:	Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren	[2015/14]
	English:	Substrate processing device and substrate processing method	[2015/14]
	French:	Dispositif et procédé de traitement de substrats	[2015/14]
Examination procedure	09.09.2015	Amendment by applicant (claims and/or description)
	09.09.2015	Examination requested [2015/43]
	20.01.2017	Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M04)
	03.05.2017	Reply to a communication from the examining division
	16.03.2018	Communication of intention to grant the patent
	24.04.2018	Disapproval of the communication of intention to grant the patent by the applicant or resumption of examination proceedings by the EPO
	06.06.2018	Despatch of a communication from the examining division (Time limit: M02)
	16.08.2018	Reply to a communication from the examining division
	12.09.2018	Communication of intention to grant the patent
	21.12.2018	Fee for grant paid
	21.12.2018	Fee for publishing/printing paid
	21.12.2018	Receipt of the translation of the claim(s)
Opposition(s)	14.11.2019	No opposition filed within time limit [2020/04]
Fees paid	Renewal fee
	01.08.2016	Renewal fee patent year 03
	30.06.2017	Renewal fee patent year 04
	10.07.2018	Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	30.09.2014
	AL	13.02.2019
	CY	13.02.2019
	CZ	13.02.2019
	DK	13.02.2019
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	[2022/31]
Former [2021/34]	HU	30.09.2014
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Documents cited:	Search	[X]US2011143541 (OGAWA YOSHIHIRO [JP], et al) [X] 1-9 * paragraphs [0049] , [0076] , [0087]; figures 1,8 *
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	by applicant	JP2008034779

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24.2.25; 35p