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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP3084819

EP3084819 - ROTATABLE HEATED ELECTROSTATIC CHUCK [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  21.06.2019
Database last updated on 12.07.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  13.07.2018
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  13.03.2018
Most recent event   Tooltip03.07.2020Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): CY, HU, MK		published on 05.08.2020  [2020/32]
Applicant(s)For all designated states
Applied Materials, Inc.
3050 Bowers Avenue
Santa Clara, California 95054 / US
[2016/43]
Inventor(s)01 / SUBRAMANI, Anantha K.
4245 Merlot Court
San Jose, California 95135 / US
02 / GOEL, Ashish
74/3 6th A Main
Malleshpalya
New Thipsandra
Bangalore Karnataka 560075 / IN
03 / WANG, Wei W.
2201 Monroe Street 804
Santa Clara, California 95050 / US
04 / SWAMINATHAN, Bharath
1615 Pala Ranch Circle
San Jose, California 95133 / US
05 / PARKHE, Vijay D.
4054 Bouquet Park Lane
San Jose, California 95135 / US
06 / YUAN, Xiaoxiong
2162 Capitol Park Court
San Jose, California 95132 / US
 [2016/43]
Representative(s)Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
Josephspitalstr. 15
80331 München / DE
[2016/43]
Application number, filing date14872752.208.12.2014
[2016/43]
WO2014US69040
Priority number, dateUS201361917921P18.12.2013         Original published format: US 201361917921 P
US20141456074404.12.2014         Original published format: US201414560744
[2016/43]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2015094750
Date:25.06.2015
Language:EN
[2015/25]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP3084819
Date:26.10.2016
Language:EN
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 25.06.2015 takes the place of the publication of the European patent application.
[2016/43]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP3084819
Date:15.08.2018
Language:EN
[2018/33]
Search report(s)International search report - published on:KR25.06.2015
(Supplementary) European search report - dispatched on:EP13.04.2017
ClassificationIPC:H01L21/683, H02N13/00, B23Q3/15
[2016/43]
CPC:
H01L21/67103 (EP,KR,US); H01L21/6831 (EP,KR,US); H02N13/00 (KR,US);
H01J37/32091 (EP,KR,US); H01J37/32715 (EP,KR,US); H01J37/32724 (EP,KR,US);
H01L21/67115 (EP,KR,US); H01L21/68742 (EP,KR,US); H01L21/68792 (EP,KR,US) (-)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2016/43]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
TitleGerman:BEHEIZTE UND DREHBARE ELEKTROSTATISCHE EINSPANNVORRICHTUNG[2016/43]
English:ROTATABLE HEATED ELECTROSTATIC CHUCK[2016/43]
French:MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE CHAUFFÉ ROTATIF[2016/43]
Entry into regional phase08.06.2016National basic fee paid 
08.06.2016Search fee paid 
08.06.2016Designation fee(s) paid 
08.06.2016Examination fee paid 
Examination procedure08.06.2016Examination requested  [2016/43]
14.03.2018Communication of intention to grant the patent
06.07.2018Fee for grant paid
06.07.2018Fee for publishing/printing paid
06.07.2018Receipt of the translation of the claim(s)
Opposition(s)16.05.2019No opposition filed within time limit [2019/30]
Fees paidRenewal fee
08.12.2016Renewal fee patent year 03
08.12.2017Renewal fee patent year 04
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU08.12.2014
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