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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP3253907

EP3253907 - SUBSTRATE HOLDER RECEPTION APPARATUS [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 26.04.2019 Database last updated on 06.07.2024
Former	The patent has been granted Status updated on 18.05.2018
Former	Grant of patent is intended Status updated on 26.02.2018
Former	Request for examination was made Status updated on 09.02.2018
Former	Examination is in progress Status updated on 19.01.2018
Former	Request for examination was made Status updated on 10.11.2017
Former	The international publication has been made Status updated on 11.02.2017
Most recent event Tooltip	03.07.2020	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): CY, MK	published on 05.08.2020 [2020/32]
Applicant(s)	For all designated states MKS IP Association Erasmusstraße 20 10553 Berlin / DE
	[N/P]
Former [2017/50]	For all designated states Atotech Deutschland GmbH Erasmusstraße 20 10553 Berlin / DE
Inventor(s)	01 / RAUENBUSCH, Ralph c/o Atotech Deutschland GmbH Patent Management Erasmusstraße 20 10553 Berlin / DE
	02 / BUSSENIUS, Tobias c/o Atotech Deutschland GmbH Patent Management Erasmusstraße 20 10553 Berlin / DE
	03 / VITZTHUM, Stefan Hauptstraße 50a Burgthann / DE
	[2017/50]
Application number, filing date	16750746.6	04.08.2016
	[2017/50]
	WO2016EP68636
Priority number, date	EP20150179883	05.08.2015 Original published format: EP 15179883
	[2017/50]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	WO2017021489
	Date:	09.02.2017
	Language:	EN
	[2017/06]
	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP3253907
	Date:	13.12.2017
	Language:	EN
	The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 09.02.2017 takes the place of the publication of the European patent application.
	[2017/50]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP3253907
	Date:	20.06.2018
	Language:	EN
	[2018/25]
Search report(s)	International search report - published on:	EP	09.02.2017
Classification	IPC:	C25D17/00, C25D17/06, H05K3/24, H01L21/68, H01L21/687, C25D21/00	[2017/50]
	CPC:	C25D17/06 (EP,KR,US); C25D17/001 (EP,KR,US); H01M10/0404 (CN); C25D17/005 (EP,KR,US); C25D21/00 (EP,KR,US); C25D21/02 (US); (+) H01L21/68 (US); H01L21/687 (US); Y02P70/50 (EP) (-)
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2017/50]
Extension states	BA	Not yet paid
	ME	Not yet paid
Validation states	MA	Not yet paid
	MD	Not yet paid
Title	German:	SUBSTRATHALTEREMPFANGSVORRICHTUNG	[2017/50]
	English:	SUBSTRATE HOLDER RECEPTION APPARATUS	[2017/50]
	French:	APPAREIL DE RÉCEPTION DE SUPPORT DE SUBSTRAT	[2018/01]
	Former [2017/50]	APPAREIL DE RÉCEPTION DE PORTE-SUBSTRAT
Entry into regional phase	15.05.2017	National basic fee paid
	15.05.2017	Designation fee(s) paid
	15.05.2017	Examination fee paid
Examination procedure	15.05.2017	Examination requested [2017/50]
	15.05.2017	Date on which the examining division has become responsible
	27.02.2018	Communication of intention to grant the patent
	18.04.2018	Fee for grant paid
	18.04.2018	Fee for publishing/printing paid
	18.04.2018	Receipt of the translation of the claim(s)
Opposition(s)	21.03.2019	No opposition filed within time limit [2019/22]
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	04.08.2016
	AL	20.06.2018
	CY	20.06.2018
	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	IT	20.06.2018
	LT	20.06.2018
	LV	20.06.2018
	MC	20.06.2018
	MK	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	PL	20.06.2018
	PT	20.06.2018
	RO	20.06.2018
	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SI	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	TR	20.06.2018
	IE	04.08.2018
	LU	04.08.2018
	MT	04.08.2018
	FR	20.08.2018
	BE	31.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
	[2020/31]
Former [2020/30]	HU	04.08.2016
	AL	20.06.2018
	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	IT	20.06.2018
	LT	20.06.2018
	LV	20.06.2018
	MC	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	PL	20.06.2018
	PT	20.06.2018
	RO	20.06.2018
	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SI	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	TR	20.06.2018
	IE	04.08.2018
	LU	04.08.2018
	MT	04.08.2018
	FR	20.08.2018
	BE	31.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2020/28]	AL	20.06.2018
	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
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	MT	04.08.2018
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	BE	31.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2020/16]	AL	20.06.2018
	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
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	HR	20.06.2018
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	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SI	20.06.2018
	SK	20.06.2018
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	TR	20.06.2018
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	LU	04.08.2018
	MT	04.08.2018
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	BE	31.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2020/08]	AL	20.06.2018
	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
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	PL	20.06.2018
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	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SI	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
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	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/51]	AL	20.06.2018
	CZ	20.06.2018
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	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SI	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	IE	04.08.2018
	LU	04.08.2018
	FR	20.08.2018
	BE	31.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/38]	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	IT	20.06.2018
	LT	20.06.2018
	LV	20.06.2018
	MC	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	PL	20.06.2018
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	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SI	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	IE	04.08.2018
	LU	04.08.2018
	FR	20.08.2018
	BE	31.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/37]	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	IT	20.06.2018
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	NL	20.06.2018
	PL	20.06.2018
	RO	20.06.2018
	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SI	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	IE	04.08.2018
	LU	04.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/33]	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	IT	20.06.2018
	LT	20.06.2018
	LV	20.06.2018
	MC	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	PL	20.06.2018
	RO	20.06.2018
	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	IE	04.08.2018
	LU	04.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/26]	CZ	20.06.2018
	DK	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	IT	20.06.2018
	LT	20.06.2018
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	MC	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	PL	20.06.2018
	RO	20.06.2018
	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	LU	04.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/21]	CZ	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
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	LV	20.06.2018
	MC	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	PL	20.06.2018
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	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	SM	20.06.2018
	LU	04.08.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/15]	CZ	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
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	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
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	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/12]	CZ	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	ES	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
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	LT	20.06.2018
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	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/11]	CZ	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	FI	20.06.2018
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	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/10]	CZ	20.06.2018
	EE	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
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	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	SK	20.06.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/09]	EE	20.06.2018
	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	LT	20.06.2018
	LV	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/08]	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
	LT	20.06.2018
	LV	20.06.2018
	NL	20.06.2018
	RS	20.06.2018
	SE	20.06.2018
	BG	20.09.2018
	NO	20.09.2018
	GR	21.09.2018
	IS	20.10.2018
Former [2019/03]	FI	20.06.2018
	HR	20.06.2018
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Former [2018/52]	FI	20.06.2018
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Former [2018/47]	FI	20.06.2018
	LT	20.06.2018
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24.1.24; 34p