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EP About this file: EP3347768

EP3347768 - METHOD FOR SELECTIVE ETCHING OF A BLOCK COPOLYMER [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  03.07.2020
Database last updated on 25.09.2024
FormerThe patent has been granted
Status updated on  21.06.2019
FormerGrant of patent is intended
Status updated on  14.02.2019
FormerRequest for examination was made
Status updated on  15.06.2018
FormerThe international publication has been made
Status updated on  21.03.2017
Most recent event   Tooltip08.07.2022Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): MK		published on 10.08.2022  [2022/32]
Applicant(s)For all designated states
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
25, Rue Leblanc
Bâtiment "Le Ponant D"
75015 Paris / FR
[2018/29]
Inventor(s)01 / POSSEME, Nicolas
6 Chemin du Vinay
38360 Sassenage / FR
02 / BARNOLA, Sébastien
217 Rue Charles Rivoire
38190 Villard-Bonnot / FR
03 / PIMENTA BARROS, Patricia
5 Rue Lakanal
38000 Grenoble / FR
04 / SARRAZIN, Aurélien
92 Cours Berriat
38000 Grenoble / FR
 [2018/29]
Representative(s)Cabinet Camus Lebkiri
25 rue de Maubeuge
75009 Paris / FR
[2018/29]
Application number, filing date16763793.309.09.2016
[2018/29]
WO2016EP71267
Priority number, dateFR2015005848111.09.2015         Original published format: FR 1558481
[2018/29]
Filing languageFR
Procedural languageFR
PublicationType: A1 Application with search report
No.:WO2017042312
Date:16.03.2017
Language:FR
[2017/11]
Type: A1 Application with search report 
No.:EP3347768
Date:18.07.2018
Language:FR
The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 16.03.2017 takes the place of the publication of the European patent application.
[2018/29]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP3347768
Date:24.07.2019
Language:FR
[2019/30]
Search report(s)International search report - published on:EP16.03.2017
ClassificationIPC:G03F7/00
[2018/29]
CPC:
G03F7/0002 (EP,KR,US); G03F1/80 (KR); B29C59/142 (US);
B29C59/005 (US); G03F7/0041 (KR); H01L21/02527 (US);
H01L21/0274 (KR); H01L21/3065 (KR); H01L21/76856 (US);
B29C2791/001 (US); B29C2791/005 (US); C08F299/024 (US);
C08F8/50 (US); C08L25/08 (US); C08L33/12 (US) (-)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2018/29]
Extension statesBANot yet paid
MENot yet paid
Validation statesMANot yet paid
MDNot yet paid
TitleGerman:VERFAHREN ZUM SELEKTIVEN ÄTZEN EINES BLOCKCOPOLYMERS[2018/29]
English:METHOD FOR SELECTIVE ETCHING OF A BLOCK COPOLYMER[2018/29]
French:PROCEDE DE GRAVURE SELECTIVE D'UN COPOLYMERE A BLOCS[2019/08]
Former [2018/29]PROCÉDÉ DE GRAVURE SÉLECTIVE D'UN COPOLYMÈRE À BLOCS
Entry into regional phase08.03.2018National basic fee paid 
08.03.2018Designation fee(s) paid 
08.03.2018Examination fee paid 
Examination procedure08.03.2018Examination requested  [2018/29]
08.03.2018Date on which the examining division has become responsible
31.08.2018Amendment by applicant (claims and/or description)
15.02.2019Communication of intention to grant the patent
11.06.2019Fee for grant paid
11.06.2019Fee for publishing/printing paid
11.06.2019Receipt of the translation of the claim(s)
Opposition(s)03.06.2020No opposition filed within time limit [2020/32]
Fees paidRenewal fee
30.08.2018Renewal fee patent year 03
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU09.09.2016
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CZ24.07.2019
DK24.07.2019
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FI24.07.2019
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MK24.07.2019
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Former [2020/08]LT24.07.2019
NL24.07.2019
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