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EP3189175

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Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP3189175

EP3189175 - SYSTEMS AND METHODS FOR SINGLE MAGNETRON SPUTTERING [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 27.12.2019 Database last updated on 20.12.2024
Former	The patent has been granted Status updated on 18.01.2019
Former	Grant of patent is intended Status updated on 14.11.2018
Former	Request for examination was made Status updated on 10.10.2018
Former	Grant of patent is intended Status updated on 20.09.2018
Former	Request for examination was made Status updated on 15.06.2017
Former	The international publication has been made Status updated on 03.02.2017
Most recent event Tooltip	08.07.2022	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): MK	published on 10.08.2022 [2022/32]
Applicant(s)	For all designated states AES Global Holdings, Pte. Ltd. 80 Robinson Road 02-00 Singapore 068898.3 / SG
	[2019/28]
Former [2017/28]	For all designated states Advanced Energy Industries, Inc. 1625 Sharp Point Drive Fort Collins, CO 80525 / US
Inventor(s)	01 / CHRISTIE, David 1300 Twin Oak Court Fort Collins, CO 80525 / US
	02 / LARSON, Skip, B. 2219 Wakefield Drive Fort Collins, CO 80526 / US
	[2017/28]
Representative(s)	Gill, David Alan WP Thompson 138 Fetter Lane London EC4A 1BT / GB
	[2017/28]
Application number, filing date	16831032.4	15.07.2016
	[2017/28]
	WO2016US42389
Priority number, date	US201514809084	24.07.2015 Original published format: US201514809084
	[2017/28]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	WO2017019323
	Date:	02.02.2017
	Language:	EN
	[2017/05]
	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP3189175
	Date:	12.07.2017
	Language:	EN
	The application published by WIPO in one of the EPO official languages on 02.02.2017 takes the place of the publication of the European patent application.
	[2017/28]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP3189175
	Date:	20.02.2019
	Language:	EN
	[2019/08]
Search report(s)	International search report - published on:	AU	02.02.2017
	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	20.02.2018
Classification	IPC:	C23C14/35, H01J37/32, G01R17/02, H01J37/34	[2018/12]
	CPC:	H01J37/3476 (EP,US); C23C14/3485 (EP,US); C23C14/3492 (EP,US); H01J37/3405 (EP,US); H01J37/3438 (EP,US); H01J37/3488 (EP,US)
	Former IPC [2017/28]	C23C14/35, H01J37/32, G01R17/02
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2017/28]
Extension states	BA	Not yet paid
	ME	Not yet paid
Validation states	MA	Not yet paid
	MD	Not yet paid
Title	German:	SYSTEME UND VERFAHREN FÜR EINZELMAGNETRONSPUTTERN	[2017/28]
	English:	SYSTEMS AND METHODS FOR SINGLE MAGNETRON SPUTTERING	[2017/28]
	French:	SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE PULVÉRISATION PAR MAGNÉTRON UNIQUE	[2017/28]
Entry into regional phase	07.04.2017	National basic fee paid
	07.04.2017	Search fee paid
	07.04.2017	Designation fee(s) paid
	07.04.2017	Examination fee paid
Examination procedure	07.04.2017	Examination requested [2017/28]
	07.04.2017	Date on which the examining division has become responsible
	21.09.2018	Communication of intention to grant the patent
	05.10.2018	Disapproval of the communication of intention to grant the patent by the applicant or resumption of examination proceedings by the EPO
	15.11.2018	Communication of intention to grant the patent
	02.01.2019	Fee for grant paid
	02.01.2019	Fee for publishing/printing paid
	02.01.2019	Receipt of the translation of the claim(s)
Opposition(s)	21.11.2019	No opposition filed within time limit [2020/05]
Fees paid	Renewal fee
	11.07.2018	Renewal fee patent year 03
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	15.07.2016
	AL	20.02.2019
	AT	20.02.2019
	CY	20.02.2019
	CZ	20.02.2019
	DK	20.02.2019
	EE	20.02.2019
	ES	20.02.2019
	FI	20.02.2019
	HR	20.02.2019
	IT	20.02.2019
	LT	20.02.2019
	LV	20.02.2019
	MC	20.02.2019
	MK	20.02.2019
	MT	20.02.2019
	NL	20.02.2019
	PL	20.02.2019
	RO	20.02.2019
	RS	20.02.2019
	SE	20.02.2019
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	FR	31.07.2019
	LI	31.07.2019
	[2022/32]
Former [2021/34]	HU	15.07.2016
	AL	20.02.2019
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	DK	20.02.2019
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	MC	20.02.2019
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	SI	20.02.2019
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Former [2021/32]	HU	15.07.2016
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Former [2021/26]	AL	20.02.2019
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	SM	20.02.2019
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	GR	21.05.2019
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Former [2020/36]	AL	20.02.2019
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	TR	20.02.2019
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	GR	21.05.2019
	IS	20.06.2019
	PT	20.06.2019
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	LV	20.02.2019
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	PL	20.02.2019
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	SK	20.02.2019
	SM	20.02.2019
	TR	20.02.2019
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	NO	20.05.2019
	GR	21.05.2019
	IS	20.06.2019
	PT	20.06.2019
	LU	15.07.2019
	BE	31.07.2019
	CH	31.07.2019
	FR	31.07.2019
	LI	31.07.2019
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	SI	20.02.2019
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	SM	20.02.2019
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	NO	20.05.2019
	GR	21.05.2019
	IS	20.06.2019
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	LU	15.07.2019
	BE	31.07.2019
	CH	31.07.2019
	LI	31.07.2019
Former [2020/17]	AL	20.02.2019
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	SK	20.02.2019
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	NO	20.05.2019
	GR	21.05.2019
	IS	20.06.2019
	PT	20.06.2019
Former [2020/14]	AL	20.02.2019
	AT	20.02.2019
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	DK	20.02.2019
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	HR	20.02.2019
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	SE	20.02.2019
	SI	20.02.2019
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	NO	20.05.2019
	GR	21.05.2019
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Former [2020/03]	AL	20.02.2019
	AT	20.02.2019
	CZ	20.02.2019
	DK	20.02.2019
	EE	20.02.2019
	ES	20.02.2019
	FI	20.02.2019
	HR	20.02.2019
	IT	20.02.2019
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	RO	20.02.2019
	RS	20.02.2019
	SE	20.02.2019
	SK	20.02.2019
	SM	20.02.2019
	BG	20.05.2019
	NO	20.05.2019
	GR	21.05.2019
	IS	20.06.2019
	PT	20.06.2019
Former [2019/52]	AL	20.02.2019
	CZ	20.02.2019
	DK	20.02.2019
	EE	20.02.2019
	ES	20.02.2019
	FI	20.02.2019
	HR	20.02.2019
	IT	20.02.2019
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	NL	20.02.2019
	PL	20.02.2019
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	SE	20.02.2019
	SK	20.02.2019
	SM	20.02.2019
	BG	20.05.2019
	NO	20.05.2019
	GR	21.05.2019
	IS	20.06.2019
	PT	20.06.2019
Former [2019/51]	AL	20.02.2019
	CZ	20.02.2019
	DK	20.02.2019
	EE	20.02.2019
	ES	20.02.2019
	FI	20.02.2019
	HR	20.02.2019
	IT	20.02.2019
	LT	20.02.2019
	LV	20.02.2019
	NL	20.02.2019
	RO	20.02.2019
	RS	20.02.2019
	SE	20.02.2019
	SK	20.02.2019
	SM	20.02.2019
	BG	20.05.2019
	NO	20.05.2019
	GR	21.05.2019
	IS	20.06.2019
	PT	20.06.2019
Former [2019/49]	AL	20.02.2019
	CZ	20.02.2019
	DK	20.02.2019
	EE	20.02.2019
	ES	20.02.2019
	FI	20.02.2019
	HR	20.02.2019
	IT	20.02.2019
	LT	20.02.2019
	LV	20.02.2019
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