EP1058156 - Guide intégrateur d' ondes pour l' utilisation dans un appareil de projection lithographique [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La demande est réputée retirée Statut actualisé le 11.06.2010 Base de données mise à jour au 07.10.2024 | Dernier événement Tooltip | 11.06.2010 | Demande réputée retirée | publié le 14.07.2010 [2010/28] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés ASML Netherlands B.V. De Run 6501 5504 DR Veldhoven / NL | [N/P] |
Précédent [2004/39] | Pour tous les Etats désignés ASML Netherlands B.V. De Run 6501 5504 DR Veldhoven / NL | ||
Précédent [2002/34] | Pour tous les Etats désignés ASML Netherlands B.V. De Run 1110 5503 LA Veldhoven / NL | ||
Précédent [2000/49] | Pour tous les Etats désignés ASM LITHOGRAPHY B.V. De Run 1110 5503 LA Veldhoven / NL | Inventeur(s) | 01 /
Banine, Vadim Yevgenyevich Nierslaan 2 5704 NK Helmond / NL | [2000/49] | Mandataire(s) | Slenders, Petrus Johannes Waltherus, et al ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property De Run 6501 P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | [N/P] |
Précédent [2009/23] | Slenders, Petrus J. W., et al ASML Netherlands B.V Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | ||
Précédent [2009/09] | Van den Hooven, Jan, et al ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | ||
Précédent [2000/49] | Leeming, John Gerard J.A. Kemp & Co., 14 South Square, Gray's Inn London WC1R 5LX / GB | Numéro de la demande, date de dépôt | 00304664.6 | 01.06.2000 | [2000/49] | Numéro de priorité, date | EP19990201768 | 04.06.1999 Format original publié: EP 99201768 | [2000/49] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A2 Demande sans rapport de recherche | N°: | EP1058156 | Date: | 06.12.2000 | Langue: | EN | [2000/49] | Type: | A3 Rapport de recherche | N°: | EP1058156 | Date: | 25.06.2003 | [2003/26] | Rapport(s) de recherche | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 14.05.2003 | Classification | IPC: | G03F7/20 | [2000/49] | CPC: |
B82Y10/00 (EP);
G03F7/70075 (EP);
G03F7/70166 (EP)
| Etats contractants désignés | DE, FR, GB, IT, NL [2004/12] |
Précédent [2000/49] | AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE | Titre | Allemand: | Integrierender Wellenleiter zur Verwendung in einem lithographischen Projektionsapparat | [2000/49] | Anglais: | Integrating waveguide for use in lithographic projection apparatus | [2000/49] | Français: | Guide intégrateur d' ondes pour l' utilisation dans un appareil de projection lithographique | [2000/49] | Procédure dexamen | 17.12.2003 | Requête en examen déposée [2004/09] | 18.12.2003 | Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription) | 01.03.2004 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 22.06.2004 | Réponse à une notification de la division dexamen | 05.01.2010 | La demande est réputée retirée, date d'effet juridique [2010/28] | 17.02.2010 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} [2010/28] | Taxes payées | Taxe annuelle | 23.05.2002 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 27.05.2003 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 01.06.2004 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 13.06.2005 | Taxe annuelle Année du brevet 06 | 12.06.2006 | Taxe annuelle Année du brevet 07 | 14.06.2007 | Taxe annuelle Année du brevet 08 | 28.03.2008 | Taxe annuelle Année du brevet 09 | Surtaxe | Surtaxe concernant la taxe annuelle | 30.06.2009 | 10   M06   Pas encore payé |
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [X]US5175755 (KUMAKHOV MURADIN A [SU]) [X] 1-4,6-18 * see parent application published as US 5 192 869 A; column 4, line 61 - line 63 * * column 6, line 10 - line 15 * * column 6, line 28 - line 58 * * figure 7 *; | [A]US5192869 (KUMAKHOV MURADIN A [SU]) [A] 1-4,6-18 * publication of parent application of US 5 175 755 A * * abstract * * column 11, line 49 - line 57 * * column 14, line 45 - line 63 * * column 16, line 36 - line 43 *; | [X]US5276724 (KUMASAKA FUMIAKI [JP], et al) [X] 1-4,6-18 * abstract *; | [X]US5812631 (YAN YIMING [CN], et al) [X] 1-4,6-18 * abstract * * column 9, line 65 - column 10, line 16 * * figure 18 *; | [X]WO9852389 (CYMER INC [US], et al) [X] 1-4,15-18 * abstract * * page 7, line 21 - line 22 *; | [PX]WO9942904 (STICHTING TECH WETENSCHAPP [NL], et al) [PX] 1,2,16-18 * abstract ** page 4, line 32 - page 5, line 3 *; | [X] - "COLLIMATOR FOR X-RAY LITHOGRAPHY", IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, IBM CORP. NEW YORK, US, (19900901), vol. 33, no. 4, ISSN 0018-8689, pages 278 - 279, XP000106428 [X] 1-4,15-18 * the whole document * |