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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP1356509

EP1356509 - RENFORCEMENT STRUCTUREL DE FILMS DIELECTRIQUES FORTEMENT POREUX ET A FAIBLE CONSTANTE DIELECTRIQUE PAR DES STRUCTURES A EFFET DE BARRIERE A LA DIFFUSION DU CUIVRE [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
StatutAucune opposition formée dans le délai
Statut actualisé le  30.08.2013
Base de données mise à jour au 20.09.2024
Dernier événement   Tooltip30.05.2014Extinction du brevet dans un Etat contractant
Nouvel/nouveaux État(s): LU		publié le 02.07.2014  [2014/27]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
Intel Corporation
2200 Mission College Boulevard
Santa Clara, CA 95054 / US
[N/P]
Précédent [2012/43]Pour tous les Etats désignés
Intel Corporation
2200 Mission College Boulevard
Santa Clara, CA 95052 / US
Précédent [2003/44]Pour tous les Etats désignés
INTEL CORPORATION
2200 Mission College Boulevard
Santa Clara, CA 95052 / US
Inventeur(s)01 / WONG, Lawrence, D.
265 NW Silverado Drive
Beaverton, OR 97006 / US
 [2003/44]
Mandataire(s)Niederkofler, Oswald, et al
Samson & Partner Patentanwälte mbB
Widenmayerstrasse 6
80538 München / DE
[N/P]
Précédent [2012/43]Niederkofler, Oswald, et al
Samson & Partner Patentanwälte Widenmayerstrasse 5
80538 München / DE
Précédent [2003/44]Niederkofler, Oswald A., Dipl.-Phys., et al
Samson & Partner Widenmayerstrasse 5
80538 München / DE
Numéro de la demande, date de dépôt01991604.818.12.2001
[2003/44]
WO2001US50808
Numéro de priorité, dateUS2000074770120.12.2000         Format original publié: US 747701
[2003/44]
Langue de dépôtEN
Langue de la procédureEN
PublicationType: A2 Demande sans rapport de recherche
N°:WO0250894
Date:27.06.2002
Langue:EN
[2002/26]
Type: A2 Demande sans rapport de recherche 
N°:EP1356509
Date:29.10.2003
Langue:EN
La demande publiée par l'OMPI le 27.06.2002, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen.
[2003/44]
Type: B1 Fascicule de brevet 
N°:EP1356509
Date:24.10.2012
Langue:EN
[2012/43]
Rapport(s) de rechercheRapport de recherche internationale - publié le:EP05.12.2002
ClassificationIPC:H01L21/768, H01L21/316
[2012/16]
CPC:
H01L21/02126 (EP,US); H01L21/02203 (EP,US); H01L21/02304 (EP,US);
H01L21/02362 (EP,US); H01L21/31695 (US); H01L21/76801 (EP,US);
H01L21/76802 (EP,US); H01L21/76807 (EP,US) (-)
Précédent IPC [2003/44]H01L21/768
Etats contractants désignésAT,   BE,   CH,   CY,   DE,   DK,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   IE,   IT,   LI,   LU,   MC,   NL,   PT,   SE,   TR [2003/44]
TitreAllemand:STRUKTURELLE VERSTÄRKUNG VON HOCHPORÖSEN SCHICHTEN MIT NIEDRIGER DIELEKTRIZITÄTSKONSTANTE DURCH KUPFER-DIFFUSIONSBARIERE-STRUKTUREN[2003/44]
Anglais:STRUCTURAL REINFORCEMENT OF HIGHLY POROUS LOW K DIELECTRIC FILMS BY CU DIFFUSION BARRIER STRUCTURES[2003/44]
Français:RENFORCEMENT STRUCTUREL DE FILMS DIELECTRIQUES FORTEMENT POREUX ET A FAIBLE CONSTANTE DIELECTRIQUE PAR DES STRUCTURES A EFFET DE BARRIERE A LA DIFFUSION DU CUIVRE[2003/44]
Entrée dans la phase régionale21.07.2003Taxe nationale de base payée 
21.07.2003Taxe(s) de désignation payée(s) 
21.07.2003Taxe d'examen payée 
Procédure d'examen21.07.2003Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription)
21.07.2003Requête en examen déposée  [2003/44]
16.09.2008Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06)
26.03.2009Réponse à une notification de la division dexamen
21.08.2009Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06)
23.02.2010Réponse à une notification de la division dexamen
25.05.2011Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04)
04.10.2011Réponse à une notification de la division dexamen
13.06.2012Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
06.09.2012Taxe de délivrance payée
06.09.2012Taxe publication/d‘impression payée
Demande(s) divisionnaire(s)La date de la première notification de la division d'examen relative à la demande la plus ancienne pour laquelle une notification a été émise est  16.09.2008
Opposition(s)25.07.2013Aucune opposition formée dans le délai imparti [2013/40]
Taxes payéesTaxe annuelle
29.12.2003Taxe annuelle Année du brevet 03
23.12.2004Taxe annuelle Année du brevet 04
27.12.2005Taxe annuelle Année du brevet 05
27.12.2006Taxe annuelle Année du brevet 06
24.12.2007Taxe annuelle Année du brevet 07
24.12.2008Taxe annuelle Année du brevet 08
28.12.2009Taxe annuelle Année du brevet 09
27.12.2010Taxe annuelle Année du brevet 10
27.12.2011Taxe annuelle Année du brevet 11
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet		 Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition  TooltipAT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
DK24.10.2012
FI24.10.2012
IT24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
TR24.10.2012
IE18.12.2012
LU18.12.2012
CH31.12.2012
LI31.12.2012
MC31.12.2012
FR02.01.2013
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
[2014/27]
Précédent [2014/21]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
DK24.10.2012
FI24.10.2012
IT24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
TR24.10.2012
IE18.12.2012
CH31.12.2012
LI31.12.2012
MC31.12.2012
FR02.01.2013
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/50]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
DK24.10.2012
FI24.10.2012
IT24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
IE18.12.2012
CH31.12.2012
LI31.12.2012
MC31.12.2012
FR02.01.2013
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/48]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
DK24.10.2012
FI24.10.2012
IT24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
IE18.12.2012
CH31.12.2012
LI31.12.2012
MC31.12.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/47]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
DK24.10.2012
FI24.10.2012
IT24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
IE18.12.2012
MC31.12.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/37]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
DK24.10.2012
FI24.10.2012
IT24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
MC31.12.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/34]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
DK24.10.2012
FI24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
MC31.12.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/33]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
FI24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
MC31.12.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/31]AT24.10.2012
BE24.10.2012
CY24.10.2012
FI24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/28]BE24.10.2012
CY24.10.2012
FI24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
PT25.02.2013
Précédent [2013/24]BE24.10.2012
CY24.10.2012
FI24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
GR25.01.2013
ES04.02.2013
Précédent [2013/23]CY24.10.2012
FI24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
ES04.02.2013
Précédent [2013/22]FI24.10.2012
NL24.10.2012
SE24.10.2012
ES04.02.2013
Précédent [2013/21]SE24.10.2012
Cité dansRecherche internationale[Y]JPH11111843  ;
 [A]US5539240  (CRONIN JOHN E [US], et al);
 [Y]US5814558  (JENG SHIN-PUU [US], et al) [Y] 11-19 * column 4, line 1 - column 6, line 13 *
 [Y]  - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19990730), vol. 1999, no. 09, & JP11111843 A 19990423 (HITACHI LTD) [Y] 11-19 * abstract *
ExamenUS6004863
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