EP1465459 - Appareil d'inspection d'éléments chauffants et dispositif por la fabrication de semi-conducteurs avec un appareil d'inpection d'éléments chauffants [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | Aucune opposition formée dans le délai Statut actualisé le 23.03.2007 Base de données mise à jour au 14.09.2024 | Dernier événement Tooltip | 23.03.2007 | Aucune opposition formée dans le délai | publié le 25.04.2007 [2007/17] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés Kokusai Electric Semiconductor Service Inc. 2-6-13, Shinmeidai, Hamura-shi Tokyo 205-0023 / JP | [2006/20] |
Précédent [2005/05] | Pour tous les Etats désignés Kokusai Electric Semiconductor Service Inc. 2-6-13, Shinmeidai, Hamura-shi Tokyo 205-0023 / JP | ||
Précédent [2004/41] | Pour tous les Etats désignés Kokusai Electric Semiconductor Services Inc. 2-1-9, Shinjuku, Shinjuku-ku Tokyo 160-0022 / JP | Inventeur(s) | 01 /
Suzuki, Masayuki Kokusai Elect. Semicond. Srve Inc 2-6-13 Shinmeidai Hamura-shi Tokyo 205-0023 / JP | 02 /
Ishizu, Hideo Kokusai Elect. Semicond. Srve Inc 2-6-13 Shinmeidai Hamura-shi Tokyo 205-0023 / JP | [2005/49] |
Précédent [2005/05] | 01 /
Suzuki, Masayuki Kokusai Elect. Semicond. Srve Inc 2-6-13 Shinmeidai Hamura-shi Tokyo 205-0023 / JP | ||
02 /
Ishizu, Hideo Kokusai Elec. Semicond. Service Inc 2-1-9 Shinjuku Shinjuku-ku Tokyo 160-0022 / JP | |||
Précédent [2004/41] | 01 /
Suzuki, Masayuki Kokusai Elec. Semicond. Service Inc 2-1-9 Shinjuku Shinjuku-ku Tokyo 160-0022 / JP | ||
02 /
Ishizu, Hideo Kokusai Elec. Semicond. Service Inc 2-1-9 Shinjuku Shinjuku-ku Tokyo 160-0022 / JP | Mandataire(s) | Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB Leopoldstrasse 4 80802 München / DE | [N/P] |
Précédent [2004/41] | Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät Maximilianstrasse 58 80538 München / DE | Numéro de la demande, date de dépôt | 03021865.5 | 26.09.2003 | [2004/41] | Numéro de priorité, date | JP20030097153 | 31.03.2003 Format original publié: JP 2003097153 | JP20030097157 | 31.03.2003 Format original publié: JP 2003097157 | JP20030322390 | 16.09.2003 Format original publié: JP 2003322390 | [2004/41] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP1465459 | Date: | 06.10.2004 | Langue: | EN | [2004/41] | Type: | B1 Fascicule de brevet | N°: | EP1465459 | Date: | 17.05.2006 | Langue: | EN | [2006/20] | Rapport(s) de recherche | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 16.07.2004 | Classification | IPC: | H05B1/02, H01L21/00 | [2004/41] | CPC: |
H05B1/0233 (EP,US);
F27D19/00 (EP,US);
F27D21/0014 (EP,US);
H01L21/67248 (EP,US)
| Etats contractants désignés | DE, IE [2005/26] |
Précédent [2004/41] | AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR | Titre | Allemand: | Inspektionsapparat für Heizelement und Halbleiterherstellungsvorrichtung versehen mit einem solchen Inspektionsapparat | [2004/41] | Anglais: | Heater inspection apparatus and semiconductor manufacturing apparatus having heater inspection apparatus mounted thereon | [2004/41] | Français: | Appareil d'inspection d'éléments chauffants et dispositif por la fabrication de semi-conducteurs avec un appareil d'inpection d'éléments chauffants | [2004/41] | Procédure d'examen | 26.09.2003 | Requête en examen déposée [2004/41] | 03.05.2005 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 12.09.2005 | Réponse à une notification de la division dexamen | 08.11.2005 | Notification relative à l'intention de délivrer le brevet | 17.03.2006 | Taxe de délivrance payée | 17.03.2006 | Taxe publication/d‘impression payée | Opposition(s) | 20.02.2007 | Aucune opposition formée dans le délai imparti [2007/17] | Taxes payées | Taxe annuelle | 29.09.2005 | Taxe annuelle Année du brevet 03 |
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [A]US4511791 (DESAI AVINASH J [US], et al) [A] 1-8 * column 5, line 22 - line 50; figure 2 *; | [A]US4978837 (EGGLESTON DEAN E [US]) [A] 1-8 * column 4, line 42 - line 50; figures 1,2 * * column 5, line 14 - line 38 *; | [X]US5280422 (MOE JOHN L [US], et al) [X] 1,2 * column 2, line 30 - column 3, line 58; figures 1,2 *; | [X]US5656190 (AOKI KEIICHIRO [JP]) [X] 1,2 * column 5, line 4 - line 7; figures 2,3 * * column 5, line 34 - column 6, line 5 *; | [A]US5788789 (COOPER KENNETH [US]) [A] 1-8* column 5, line 11 - line 24; figure 2 * |