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EP1534873
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP1534873
| EP1534873 - REPARATION DE DEFAUTS SUR DES PHOTOMASQUES A L'AIDE D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES ET DE DONNEES TOPOGRAPHIQUES OBTENUES A PARTIR D'UN MICROSCOPE-SONDE A BALAYAGE [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | L'examen est en cours Statut actualisé le 22.05.2010 Base de données mise à jour au 04.11.2024 | Dernier événement Tooltip | 30.09.2010 | Nouvelle entrée: surtaxe concernant la taxe annuelle: envoi de la notification + délai | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés FEI COMPANY 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 / US | [N/P] |
| Précédent [2005/22] | Pour tous les Etats désignés FEI Company 5350 NE Dawson Creek Drive Hillsboro, Oregon 97124-5793 / US | Inventeur(s) | 01 /
FERRANTI, David, C. 158 Riverdale Road Concord, MA 01742 / US | 02 /
RAY, Valery 4 Colimar Street, District Vista Hermosa Oriental Zone, Santo Domingo / DO | 03 /
SMITH, Gerald 10 Lutheran Drive Nashua, NH 03063 / US | 04 /
MUSIL, Christian R. 90 Hansell Rd New Providence, NJ 07974 / US | [2007/01] |
| Précédent [2005/22] | 01 /
FERRANTI, David, C. 158 Riverdale Road Concord, MA 01742 / US | ||
| 02 /
RAY, Valery 103 Laurel Ave. Haverhill, MA 01835 / US | |||
| 03 /
SMITH, Gerald 10 Lutheran Drive Nashua, NH 03063 / US | |||
| 04 /
MUSIL, Christian R. 353 Harvard Street, Apt. 26 Cambridge, MA 02138 / US | Mandataire(s) | Bakker, Hendrik, et al FEI Company Patent Department P.O. Box 1745 5602 BS Eindhoven / NL | [N/P] |
| Précédent [2008/17] | Bakker, Hendrik, et al FEI Company Patent Department P.O. Box 1745 5602 BS Eindhoven / NL | ||
| Précédent [2006/42] | Bakker, Hendrik, et al FEI Company Patent Department P.O. Box 80066 5600 KA Eindhoven / NL | ||
| Précédent [2005/22] | Bakker, Hendrik FEI Company, Patent Department, Postbus 80066 5600 KA Eindhoven / NL | Numéro de la demande, date de dépôt | 03785301.7 | 08.08.2003 | [2005/22] | WO2003US25801 | Numéro de priorité, date | US20020402010P | 08.08.2002 Format original publié: US 402010 P | US20030636309 | 07.08.2003 Format original publié: US 636309 | [2005/22] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A2 Demande sans rapport de recherche | N°: | WO2004015496 | Date: | 19.02.2004 | Langue: | EN | [2004/08] | Type: | A2 Demande sans rapport de recherche | N°: | EP1534873 | Date: | 01.06.2005 | Langue: | EN | La demande publiée par l'OMPI le 19.02.2004, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen. | [2005/22] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | US | 07.04.2005 | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 20.08.2009 | Classification | IPC: | C23C14/58 | [2005/22] | CPC: |
G03F1/74 (EP,US)
| Etats contractants désignés | DE, FR, GB [2005/48] |
| Précédent [2005/22] | AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, RO, SE, SI, SK, TR | Etats autorisant l'extension | AL | Pas encore payé | LT | Pas encore payé | LV | Pas encore payé | MK | Pas encore payé | Titre | Allemand: | REPARATUR VON DEFEKTEN AUF FOTOMASKEN MIT EINEM GELADENEN TEILCHENSTRAHL UND TOPOGRAPHISCHE DATEN AUS EINEM RASTER SONDENMIKROSKOP | [2005/22] | Anglais: | REPAIRING DEFECTS ON PHOTOMASKS USING A CHARGED PARTICLE BEAM AND TOPOGRAPHICAL DATA FROM A SCANNING PROBE MICROSCOPE | [2005/22] | Français: | REPARATION DE DEFAUTS SUR DES PHOTOMASQUES A L'AIDE D'UN FAISCEAU DE PARTICULES CHARGEES ET DE DONNEES TOPOGRAPHIQUES OBTENUES A PARTIR D'UN MICROSCOPE-SONDE A BALAYAGE | [2005/22] | Entrée dans la phase régionale | 06.01.2005 | Taxe nationale de base payée | 06.01.2005 | Taxe de recherche payée | 06.01.2005 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 06.01.2005 | Taxe d'examen payée | Procédure dexamen | 06.01.2005 | Requête en examen déposée [2005/22] | 27.01.2010 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06) | 14.09.2010 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} | Taxes payées | Taxe annuelle | 19.08.2005 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 29.08.2006 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 29.08.2007 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 25.08.2008 | Taxe annuelle Année du brevet 06 | 25.08.2009 | Taxe annuelle Année du brevet 07 | Surtaxe | Surtaxe concernant la taxe annuelle | 31.08.2010 | 08 M06 Pas encore payé |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [XY]US6322935 (SMITH ERYN [US]) [X] 1-10,14-24,4,5,9,18,19,24 * column 5, line 61 - column 6, line 28; figure 12 * * column 1, lines 6-10 * * column 6, lines 29-51 * * column 7, lines 19-61 * [Y] 11-13; | [Y]US6322672 (SHUMAN RICHARD F [US], et al) [Y] 11-13* the whole document * | Recherche internationale | [Y]US5116782 (YAMAGUCHI HIROSHI [JP], et al); | [Y]US5569392 (MIYOSHI MOTOSUKE [JP], et al); | [Y]US6042738 (CASEY JR J DAVID [US], et al); | [Y]US6322672 (SHUMAN RICHARD F [US], et al); | [X]US6322935 (SMITH ERYN [US]); | [YP]US2003047691 (MUSIL CHRISTIAN R [US], et al); | [XP]US6703626 (TAKAOKA OSAMU [JP], et al); | [Y] - MORGAN ET AL., "Progress for characterization and advanced reticle repair", SOLID STATE TECHNOLOGY, (200007), XP000936450 | [Y] - NAGASHIGE ET AL., "Detection and repair of multiphase defects on alternating phase-shreft mask for DUV lithography", 19TH ANNUAL BACUS, (199909), vol. 3873, pages 127 - 136, XP008042436 DOI: http://dx.doi.org/10.1117/12.373308 |