blank Aide rapide
blank Actualité maintenance

Dates prévues pour la maintenance

Interruptions régulières:
entre 5 h 00 et 5 h 15 HEC, du lundi au dimanche.

Autres interruptions
Accessibilité

2022.02.11

en savoir plus...
blank Flash info

Flash Info

Nouvelle version du Registre européen des brevets – des informations relatives aux procédures CCP sont disponibles dans le Registre européen des brevets.

2024-07-24

en savoir plus...
blank Liens utiles

Notifications
Assistant du Registre européen des brevets
Manuel d’utilisation du Registre européen des brevets
Registre européen des brevets – guide de poche
FAQ - Registre européen des brevets
FAQ - Veille du Registre
Registre fédéré (Flyer)
Dossier mondial (Flyer)
Événements du Registre
Couverture de données pour lien profonds
Contenue du Registre fédéré
Tour de l'information brevets
Charte d'utilisation équitable

Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP1598855

EP1598855 - APPAREIL ET PROCEDE D'EXPOSITION, PROCEDE DE PRODUCTION DE L'APPAREIL [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
StatutAucune opposition formée dans le délai
Statut actualisé le  26.02.2016
Base de données mise à jour au 14.09.2024
Dernier événement   Tooltip17.08.2018Extinction du brevet dans un Etat contractant
Nouvel/nouveaux État(s): BG		publié le 19.09.2018  [2018/38]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
Nikon Corporation
15-3, Konan 2-chome
Minato-ku
Tokyo 108-6290 / JP
[2015/36]
Précédent [2012/18]Pour tous les Etats désignés
Nikon Corporation
12-1, Yurakucho 1-chome Chiyoda-ku
Tokyo 100-8331 / JP
Précédent [2010/30]Pour tous les Etats désignés
NIKON CORPORATION
12-1, Yurakucho 1-chome Chiyoda-ku
Tokyo 100-8331 / JP
Précédent [2005/47]Pour tous les Etats désignés
NIKON CORPORATION
2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku
Tokyo 100-8331 / JP
Inventeur(s)01 / Nagasaka, Hiroyuki
c/o Nikon Corporation
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 / JP
02 / Owa, Soichi
c/o Nikon Corporation
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 / JP
03 / Nishii, Yasufumi
c/o Nikon Corporation
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 / JP
 [2015/17]
Précédent [2005/47]01 / Nagasaka, Hiroyuki
Nikon Corporation, 2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 / JP
02 / Owa, Soichi
Nikon Corporation, 2-3, Marunouchi 2-chome
Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 / JP
03 / Nishii, Yasufumi
Nikon Corporation, 2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku, Tokyo 100-8331 / JP
Mandataire(s)Hoffmann Eitle
Patent- und Rechtsanwälte PartmbB
Arabellastraße 30
81925 München / DE
[2015/17]
Précédent [2005/47]HOFFMANN EITLE
Patent- und Rechtsanwälte Arabellastrasse 4
81925 München / DE
Numéro de la demande, date de dépôt04714910.926.02.2004
[2005/47]
WO2004JP02295
Numéro de priorité, dateJP2003004936526.02.2003         Format original publié: JP 2003049365
JP2003011074815.04.2003         Format original publié: JP 2003110748
JP2003032010011.09.2003         Format original publié: JP 2003320100
[2005/47]
Langue de dépôtJA
Langue de la procédureEN
PublicationType: A1 Demande avec rapport de recherche
N°:WO2004086468
Date:07.10.2004
Langue:EN
[2004/41]
Type: A1 Demande avec rapport de recherche 
N°:EP1598855
Date:23.11.2005
Langue:EN
La demande publiée par l'OMPI le 07.10.2004, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen.
[2005/47]
Type: B1 Fascicule de brevet 
N°:EP1598855
Date:22.04.2015
Langue:EN
[2015/17]
Rapport(s) de rechercheRapport de recherche internationale - publié le:JP07.10.2004
Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:EP25.07.2007
ClassificationIPC:H01L21/027, G03F7/20
[2005/47]
CPC:
G03F7/70341 (EP,KR,US); G03F7/2041 (KR); G03F7/70733 (US);
G03F7/708 (EP,KR,US); G03F7/7095 (EP,KR,US); H01L21/0273 (KR)
Etats contractants désignésAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HU,   IE,   IT,   LI,   LU,   MC,   NL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2015/17]
Précédent [2005/47]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HU,  IE,  IT,  LI,  LU,  MC,  NL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  TR 
TitreAllemand:BELICHTUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VORRICHTUNG[2005/47]
Anglais:EXPOSURE APPARATUS AND METHOD, AND METHOD OF PRODUCING APPARATUS[2005/47]
Français:APPAREIL ET PROCEDE D'EXPOSITION, PROCEDE DE PRODUCTION DE L'APPAREIL[2005/47]
Entrée dans la phase régionale28.08.2005Traduction produite 
25.08.2005Taxe nationale de base payée 
25.08.2005Taxe de recherche payée 
25.08.2005Taxe(s) de désignation payée(s) 
25.08.2005Taxe d'examen payée 
Procédure d'examen25.08.2005Requête en examen déposée  [2005/47]
04.03.2010Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06)
06.09.2010Réponse à une notification de la division dexamen
18.10.2012Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06)
29.04.2013Réponse à une notification de la division dexamen
11.04.2014Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04)
21.08.2014Réponse à une notification de la division dexamen
12.11.2014Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
12.03.2015Taxe de délivrance payée
12.03.2015Taxe publication/d‘impression payée
12.03.2015Réception des traductions de la/des revendication(s)
Demande(s) divisionnaire(s)EP12159205.9  / EP2466621
EP12159206.7  / EP2466622
EP12159207.5  / EP2466623
EP12159208.3  / EP2466624
EP12159209.1  / EP2466625
EP15158780.5  / EP2945184
EP15158782.1  / EP2945016
EP17185716.2  / EP3301511
La date de la première notification de la division d'examen relative à la demande la plus ancienne pour laquelle une notification a été émise est  04.03.2010
Opposition(s)25.01.2016Aucune opposition formée dans le délai imparti [2016/13]
Taxes payéesTaxe annuelle
22.02.2006Taxe annuelle Année du brevet 03
23.02.2007Taxe annuelle Année du brevet 04
21.02.2008Taxe annuelle Année du brevet 05
27.03.2008Taxe annuelle Année du brevet 06
23.02.2010Taxe annuelle Année du brevet 07
23.02.2011Taxe annuelle Année du brevet 08
27.02.2012Taxe annuelle Année du brevet 09
20.02.2013Taxe annuelle Année du brevet 10
18.02.2014Taxe annuelle Année du brevet 11
18.02.2015Taxe annuelle Année du brevet 12
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet		 Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition  TooltipHU26.02.2004
AT22.04.2015
BE22.04.2015
BG22.04.2015
CY22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
MC22.04.2015
RO22.04.2015
SE22.04.2015
SI22.04.2015
SK22.04.2015
TR22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
[2018/38]
Précédent [2018/33]HU26.02.2004
AT22.04.2015
BE22.04.2015
CY22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
MC22.04.2015
RO22.04.2015
SE22.04.2015
SI22.04.2015
SK22.04.2015
TR22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2018/28]HU26.02.2004
AT22.04.2015
BE22.04.2015
CY22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
MC22.04.2015
RO22.04.2015
SE22.04.2015
SI22.04.2015
SK22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2017/40]AT22.04.2015
BE22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
MC22.04.2015
RO22.04.2015
SE22.04.2015
SI22.04.2015
SK22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2016/42]AT22.04.2015
BE22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
MC22.04.2015
RO22.04.2015
SI22.04.2015
SK22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2016/37]AT22.04.2015
BE22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
RO22.04.2015
SI22.04.2015
SK22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2016/24]AT22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
RO22.04.2015
SI22.04.2015
SK22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2016/21]AT22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
IT22.04.2015
RO22.04.2015
SK22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2016/10]AT22.04.2015
CZ22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
RO22.04.2015
SK22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2016/09]AT22.04.2015
DK22.04.2015
EE22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2016/07]AT22.04.2015
DK22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2015/51]AT22.04.2015
ES22.04.2015
FI22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Précédent [2015/49]ES22.04.2015
FI22.04.2015
GR23.07.2015
PT24.08.2015
Citations:Recherche[X]DD221563  (MIKROELEKTRONIK ZT FORSCH TECH [DD]) [X] 1,9,48,52 * pages 10-14; figure 1 *;
 [X]WO9949504  (NIKON CORP [JP], et al) [X] 1,9,48,52 * the whole document *;
 [X]WO0213194  (KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV [NL]) [X] 37,43* page 11, line 10 - page 12, line 15; figures 3,4 *;
 [E]WO2004055803  (KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV [NL], et al) [E] 1,9,14,24,30,34,37,43 * pages 6-12; figures 2,3; claim 1 *;
 [PX]  - OWA S ET AL, "Immersion lithography", PROCEEDINGS OF THE SPIE, SPIE, BELLINGHAM, VA, US, (20030228), vol. 5040, no. 1, ISSN 0277-786X, pages 724 - 733, XP002294500 [PX] 1,9 * the whole document *

DOI:   http://dx.doi.org/10.1117/12.504599
Recherche internationale[A]JP2000058436  (NIKON CORP);
 [A]WO9949504  (NIKON CORP [JP], et al);
 [A]JPH11176727  (NIKON CORP);
 [A]JPH10340846  (NIKON CORP);
 [A]JPH10303114  (NIKON CORP);
 [A]JPH10255319  (HITACHI MAXELL);
 [A]JPH07220990  (HITACHI LTD);
 [A]JPH06124873  (CANON KK);
 [A]JPS6265326  (HITACHI LTD);
 [A]JPS57153433  (HITACHI LTD)
L'OEB décline toute responsabilité quant à l’exactitude des données émanant d'administrations tierces. Il ne garantit notamment pas l'exhaustivité, l'actualité ou la pertinence à des fins spécifiques de ces données.