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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP1703547

EP1703547 - Procédé et dispositif pour le contrôle de la contamination des plaquettes de substrat [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
StatutAucune opposition formée dans le délai
Statut actualisé le  20.07.2012
Base de données mise à jour au 14.09.2024
Dernier événement   Tooltip18.07.2014Extinction du brevet dans un Etat contractant
Nouvel/nouveaux État(s): HU		publié le 20.08.2014  [2014/34]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
Adixen Vacuum Products
98 Avenue de Brogny
74009 Annecy / FR
[2011/41]
Précédent [2007/15]Pour tous les Etats désignés
Alcatel Lucent
54 rue La Boétie
75008 Paris / FR
Précédent [2006/38]Pour tous les Etats désignés
ALCATEL
54, rue La Boétie
75008 Paris / FR
Inventeur(s)01 / Favre, Arnaud
/ 17bis, avenue de Novel
74000, ANNECY / FR
02 / Thollot, Rémi
/ 196, rue du Mont Blanc
74350, CRUSEILLES / FR
03 / Metais, Xavier
3, rue Fançois Vernex
74960 Meythet / FR
04 / Desbiolles, Jean-Pierre
/ Les Follats
74350, CRUSEILLES / FR
 [2011/37]
Précédent [2006/38]01 / Favre, Arnaud
17bis, avenue de Novel
74000, ANNECY / FR
02 / Thollot, Rémi
196, rue du Mont Blanc
74350, CRUSEILLES / FR
03 / Metais, Xavier
3, rue Fançois Vernex
74960 Meythet / FR
04 / Desbiolles, Jean-Pierre
Les Follats
74350, CRUSEILLES / FR
Mandataire(s)Croonenbroek, Thomas Jakob
Innovincia
11, avenue des Tilleuls
74200 Thonon-les-Bains / FR
[N/P]
Précédent [2011/37]Croonenbroek, Thomas Jakob
Cabinet Innovincia 11, avenue des Tilleuls
74200 Thonon-les-Bains / FR
Précédent [2011/21]Croonenbroek, Thomas Jakob
Cabinet Innovincia 11, avenue des Tilleuls
74200 Thonon-les-Bains / FR
Précédent [2008/46]Chaffraix, Sylvain
Alcatel Lucent Intellectual Property & Standards 54 rue La Boétie
75008 Paris / FR
Précédent [2006/38]Chaffraix, Sylvain
COMPAGNIE FINANCIERE ALCATEL Département Propriété Industrielle 54, rue La Boétie
75008 Paris / FR
Numéro de la demande, date de dépôt06300207.507.03.2006
[2006/38]
Numéro de priorité, dateFR2005005070318.03.2005         Format original publié: FR 0550703
[2006/38]
Langue de dépôtFR
Langue de la procédureFR
PublicationType: A2 Demande sans rapport de recherche 
N°:EP1703547
Date:20.09.2006
Langue:FR
[2006/38]
Type: A3 Rapport de recherche 
N°:EP1703547
Date:20.08.2008
[2008/34]
Type: B1 Fascicule de brevet 
N°:EP1703547
Date:14.09.2011
Langue:FR
[2011/37]
Type: B8 Page de titre du fascicule corrigée 
N°:EP1703547
Date:14.03.2012
[2012/11]
Rapport(s) de rechercheRapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:EP17.07.2008
ClassificationIPC:H01L21/00
[2006/38]
CPC:
H01L21/67253 (EP,US); F24F12/003 (KR); F24F13/28 (KR);
F24F13/30 (KR); F24F7/08 (KR); H01L21/67389 (EP,US)
Etats contractants désignésAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   NL,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2006/38]
TitreAllemand:Verfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Verunreinigung von Wafersubstraten[2006/38]
Anglais:Method and device for controlling the contamination of wafer substrates[2006/38]
Français:Procédé et dispositif pour le contrôle de la contamination des plaquettes de substrat[2006/38]
Procédure d'examen10.10.2008Requête en examen déposée  [2009/18]
29.04.2009Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06)
09.11.2009Réponse à une notification de la division dexamen
16.03.2011Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
12.07.2011Taxe de délivrance payée
12.07.2011Taxe publication/d‘impression payée
Demande(s) divisionnaire(s)La date de la première notification de la division d'examen relative à la demande la plus ancienne pour laquelle une notification a été émise est  29.04.2009
Opposition(s)15.06.2012Aucune opposition formée dans le délai imparti [2012/34]
Taxes payéesTaxe annuelle
13.03.2008Taxe annuelle Année du brevet 03
13.03.2009Taxe annuelle Année du brevet 04
26.03.2010Taxe annuelle Année du brevet 05
28.03.2011Taxe annuelle Année du brevet 06
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet		 Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition  TooltipHU07.03.2006
AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
DK14.09.2011
EE14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
NL14.09.2011
PL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
TR14.09.2011
BG14.12.2011
GR15.12.2011
ES25.12.2011
IS14.01.2012
PT16.01.2012
LU07.03.2012
MC31.03.2012
[2014/34]
Précédent [2014/27]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
DK14.09.2011
EE14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
NL14.09.2011
PL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
TR14.09.2011
BG14.12.2011
GR15.12.2011
ES25.12.2011
IS14.01.2012
PT16.01.2012
LU07.03.2012
MC31.03.2012
Précédent [2014/21]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
DK14.09.2011
EE14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
NL14.09.2011
PL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
TR14.09.2011
BG14.12.2011
GR15.12.2011
ES25.12.2011
IS14.01.2012
PT16.01.2012
MC31.03.2012
Précédent [2013/29]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
DK14.09.2011
EE14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
NL14.09.2011
PL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
BG14.12.2011
GR15.12.2011
ES25.12.2011
IS14.01.2012
PT16.01.2012
MC31.03.2012
Précédent [2013/22]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
DK14.09.2011
EE14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
NL14.09.2011
PL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
GR15.12.2011
ES25.12.2011
IS14.01.2012
PT16.01.2012
MC31.03.2012
Précédent [2012/47]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
DK14.09.2011
EE14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
NL14.09.2011
PL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
GR15.12.2011
IS14.01.2012
PT16.01.2012
MC31.03.2012
Précédent [2012/35]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
DK14.09.2011
EE14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
NL14.09.2011
PL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
GR15.12.2011
IS14.01.2012
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Précédent [2012/26]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
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Précédent [2012/23]AT14.09.2011
CY14.09.2011
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FI14.09.2011
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NL14.09.2011
RO14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
SK14.09.2011
GR15.12.2011
IS14.01.2012
PT16.01.2012
Précédent [2012/21]AT14.09.2011
CY14.09.2011
CZ14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
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SE14.09.2011
SI14.09.2011
GR15.12.2011
IS14.01.2012
Précédent [2012/12]AT14.09.2011
CY14.09.2011
FI14.09.2011
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SE14.09.2011
SI14.09.2011
GR15.12.2011
Précédent [2012/11]AT14.09.2011
FI14.09.2011
LT14.09.2011
LV14.09.2011
SE14.09.2011
SI14.09.2011
GR15.12.2011
Précédent [2012/10]FI14.09.2011
LT14.09.2011
SE14.09.2011
GR15.12.2011
Précédent [2012/09]FI14.09.2011
LT14.09.2011
Précédent [2012/08]LT14.09.2011
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par le demandeurDE10133520
 US2004023419
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