-
EP2063462
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP2063462
| EP2063462 - APPAREIL ET PROCÉDÉ DE GRAVURE SÈCHE [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La demande est réputée retirée Statut actualisé le 27.05.2016 Base de données mise à jour au 02.09.2024 | Dernier événement Tooltip | 27.05.2016 | Demande réputée retirée | publié le 29.06.2016 [2016/26] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés ULVAC, INC. 2500 Hagisono Chigasaki-shi, Kanagawa 253-8543 / JP | [2009/22] | Inventeur(s) | 01 /
MORIKAWA, Yasuhiro c/o ULVAC, INC., Institute for Semiconductor Techn ologies, 1220-1, Suyama Susono-shi, Shizuoka 410-1231 / JP | 02 /
SUU, Koukou c/o ULVAC, INC., Institute for Semiconductor Techn ologies, 1220-1, Suyama Susono-shi, Shizuoka 410-1231 / JP | [2009/22] | Mandataire(s) | AMMANN PATENTANWÄLTE AG Schwarztorstrasse 31 3001 Bern / CH | [N/P] |
| Précédent [2009/22] | AMMANN PATENTANWÄLTE AG BERN Schwarztorstrasse 31 3001 Bern / CH | Numéro de la demande, date de dépôt | 07806775.8 | 05.09.2007 | [2009/22] | WO2007JP67333 | Numéro de priorité, date | JP20060243976 | 08.09.2006 Format original publié: JP 2006243976 | [2009/22] | Langue de dépôt | JA | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO2008029854 | Date: | 13.03.2008 | Langue: | JA | [2008/11] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP2063462 | Date: | 27.05.2009 | Langue: | EN | [2009/22] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | JP | 13.03.2008 | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 26.10.2010 | Classification | IPC: | H01L21/3065, C01B33/12, C03C15/00, H03H3/02, H03H3/08, H05H1/46 | [2009/22] | CPC: |
H01J37/321 (EP,US);
H01L21/3065 (KR);
C01B33/12 (KR);
C03C15/00 (EP,KR,US);
H01J37/32009 (EP,US);
H01J37/32541 (EP,US);
H01J37/3266 (EP,US);
H01J37/32706 (EP,US);
H01L21/67069 (EP,US);
H05H1/46 (KR)
(-)
| Etats contractants désignés | DE, FR [2010/44] |
| Précédent [2009/22] | AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR | Titre | Allemand: | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR TROCKENÄTZUNG | [2009/22] | Anglais: | APPARATUS AND METHOD FOR DRY ETCHING | [2009/22] | Français: | APPAREIL ET PROCÉDÉ DE GRAVURE SÈCHE | [2009/22] | Entrée dans la phase régionale | 17.03.2009 | Traduction produite | 17.03.2009 | Taxe nationale de base payée | 17.03.2009 | Taxe de recherche payée | 17.03.2009 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 17.03.2009 | Taxe d'examen payée | Procédure dexamen | 17.03.2009 | Requête en examen déposée [2009/22] | 09.06.2009 | Envoi de la notification relative à une perte de droit : Etat(s) désigné(s) AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DK, EE, ES, FI, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR | 09.04.2010 | Perte de droit, date d'effet juridique: Etat(s) désigné(s) | 23.05.2011 | Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription) | 17.09.2015 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 28.01.2016 | La demande est réputée retirée, date d'effet juridique [2016/26] | 23.02.2016 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} [2016/26] | Demande(s) divisionnaire(s) | La date de la première notification de la division d'examen relative à la demande la plus ancienne pour laquelle une notification a été émise est 17.09.2015 | Taxes payées | Taxe annuelle | 05.09.2009 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 09.09.2010 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 15.09.2011 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 14.09.2012 | Taxe annuelle Année du brevet 06 | 17.09.2013 | Taxe annuelle Année du brevet 07 | 29.09.2014 | Taxe annuelle Année du brevet 08 | 15.09.2015 | Taxe annuelle Année du brevet 09 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [XY]US5695566 (SUZUKI MASAKI [JP], et al) [X] 1,2,7,8 * column 4, line 32 - column 8, line 67 * * figure - * [Y] 3-6; | [X]EP0323620 (TOKYO ELECTRON LTD [JP]) [X] 1 * column 6, line 1 - column 8, line 15 * * figure 1 *; | [X]US4615755 (TRACY DAVID H [US], et al) [X] 1 * column 2, line 43 - column 3, line 68 * * figure 1 *; | [Y]JP2006114933 (ULVAC CORP) [Y] 3,4 * abstract * * figure - *; | [Y]JP2002343775 (ULVAC CORP) [Y] 5,6 * abstract * * figure - *; | [A]US6251792 (COLLINS KENNETH S [US], et al) [A] 3,5 * column 6, line 63 - column 20, line 52 * * figure - * | Recherche internationale | [X]JPH08316215 (MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD); | [Y]JP2002216945 (SONY CORP); | [Y]JPH07263192 (ULVAC CORP); | [Y]JP2002343775 (ULVAC CORP) | par le demandeur | JPH05315881 |