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EP2111631
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP2111631
| EP2111631 - TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE AU PLASMA ET HYBRIDE MICRO-ONDE DE PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La demande a été retirée Statut actualisé le 02.04.2010 Base de données mise à jour au 18.11.2024 | Dernier événement Tooltip | 02.04.2010 | Retrait de la demande | publié le 05.05.2010 [2010/18] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés BTU International, Inc. 23 Esquire Road North Billerica, MA 01862-2596 / US | [2009/44] | Inventeur(s) | 01 /
PEELAMEDU, Ramesh 800 bullfinch Drive, Apt 314 Andover, Massachusetts 01810 / US | 02 /
KUMAR, Satyendra 3740 Edenderry Drive Troy, MI 48083 / US | 03 /
KUMAR, Devendra 850 Rambling Drive Rochester Hills, MI 48307 / US | 04 /
WONG, David, C. 9 Northbriar Road Acton, MA 01720 / US | 05 /
SECCOMBE, Donald, A. 52 Old Nugent Farm Road Gloucester, MA 01930 / US | 06 /
DEMCHAK, Michael 145 South Liverois Rochester Hills, MI 48307 / US | 07 /
HESTER, Michael, K. 452 Marion Avenue Waterford, MI 48328 / US | [2010/07] |
| Précédent [2009/44] | 01 /
PEELAMEDU, Ramesh 390 Woodside Court 1 Rochester Hills, MI 48309 / US | ||
| 02 /
KUMAR, Satyendra 3740 Edenderry Drive Troy, MI 48083 / US | |||
| 03 /
KUMAR, Devendra 850 Rambling Drive Rochester Hills, MI 48307 / US | |||
| 04 /
WONG, David, C. 9 Northbriar Road Acton, MA 01720 / US | |||
| 05 /
SECCOMBE, Donald, A. 52 Old Nugent Farm Road Gloucester, MA 01930 / US | |||
| 06 /
DEMCHAK, Michael 145 South Liverois Rochester Hills, MI 48307 / US | |||
| 07 /
HESTER, Michael, K. 452 Marion Avenue Waterford, MI 48328 / US | Mandataire(s) | Hatzmann, Martin V.O. Johan de Wittlaan 7 2517 JR Den Haag / NL | [N/P] |
| Précédent [2009/44] | Hatzmann, Martin Vereenigde Johan de Wittlaan 7 2517 JR Den Haag / NL | Numéro de la demande, date de dépôt | 08713219.7 | 23.01.2008 | [2009/44] | WO2008US00839 | Numéro de priorité, date | US20070897450P | 25.01.2007 Format original publié: US 897450 P | [2009/44] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO2008091613 | Date: | 31.07.2008 | Langue: | EN | [2008/31] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP2111631 | Date: | 28.10.2009 | Langue: | EN | La demande publiée par l'OMPI le 31.07.2008, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen. | [2009/44] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | US | 31.07.2008 | Classification | IPC: | H01L21/00 | [2009/44] | CPC: |
H01L21/67115 (EP,US);
H01L21/324 (KR);
H01J37/32192 (EP,US);
H01J37/32825 (EP,US);
H01L21/00 (KR)
| Etats contractants désignés | AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR [2009/44] | Titre | Allemand: | SCHNELLE THERMISCHE MIKROWELLEN-HYBRID- UND PLASMAVERARBEITUNG VON HALBLEITERWAFERN | [2009/44] | Anglais: | MICROWAVE HYBRID AND PLASMA RAPID THERMAL PROCESSING OR SEMICONDUCTOR WAFERS | [2009/44] | Français: | TRAITEMENT THERMIQUE RAPIDE AU PLASMA ET HYBRIDE MICRO-ONDE DE PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES | [2009/44] | Entrée dans la phase régionale | 21.08.2009 | Taxe nationale de base payée | 21.08.2009 | Taxe de recherche payée | 21.08.2009 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 21.08.2009 | Taxe d'examen payée | Procédure d'examen | 21.08.2009 | Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription) | 21.08.2009 | Requête en examen déposée [2009/44] | 29.03.2010 | Demande retirée par le demandeur [2010/18] | Taxes payées | Taxe annuelle | 13.01.2010 | Taxe annuelle Année du brevet 03 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Cité dans | Recherche internationale | [Y]US4687895 (CHITRE SANJEEV R [US], et al); | [Y]US2002073925 (NOBLE DAVID B [US], et al) |