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EP2267764
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP2267764
| EP2267764 - PROCÉDÉ DE TRAITEMENT PAR PLASMA [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La demande est réputée retirée Statut actualisé le 13.01.2017 Base de données mise à jour au 06.11.2024 | Dernier événement Tooltip | 13.01.2017 | Demande réputée retirée | publié le 15.02.2017 [2017/07] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés ULVAC, INC. 2500 Hagisono Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543 / JP | [N/P] |
| Précédent [2010/52] | Pour tous les Etats désignés ULVAC, INC. 2500 Hagisono Chigasaki-shi Kanagawa 253-8543 / JP | Inventeur(s) | 01 /
MORIKAWA, Yasuhiro c/o ULVAC INC. Institute for Semiconductor Technologies 1220-1 Suyama Susono-shi Shizuoka 410-1231 / JP | 02 /
SUU, Koukou c/o ULVAC INC. Institute for Semiconductor Technologies 1220-1 Suyama Susono-shi Shizuoka 410-1231 / JP | 03 /
MURAYAMA, Takahide c/o ULVAC INC. Institute for Semiconductor Technologies 1220-1 Suyama Susono-shi Shizuoka 410-1231 / JP | [2010/52] | Mandataire(s) | D Young & Co LLP 3 Noble Street London EC2V 7BQ / GB | [N/P] |
| Précédent [2010/52] | Albutt, Anthony John D Young & Co LLP 120 Holborn London EC1N 2DY / GB | Numéro de la demande, date de dépôt | 09718527.6 | 05.03.2009 | [2010/52] | WO2009JP54205 | Numéro de priorité, date | JP20080057621 | 07.03.2008 Format original publié: JP 2008057621 | [2010/52] | Langue de dépôt | JA | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO2009110567 | Date: | 11.09.2009 | Langue: | JA | [2009/37] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP2267764 | Date: | 29.12.2010 | Langue: | EN | [2010/52] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | JP | 11.09.2009 | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 31.03.2011 | Classification | IPC: | H01L21/3065 | [2010/52] | CPC: |
H01J37/34 (EP,US);
H01J37/321 (EP,US);
H01J37/32146 (EP,US);
H01J37/32449 (EP,US);
H01L21/30655 (EP,US);
H01J2237/334 (EP,US)
| Etats contractants désignés | AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR [2010/52] | Titre | Allemand: | PLASMA-VERARBEITUNGSVERFAHREN | [2010/52] | Anglais: | PLASMA PROCESSING METHOD | [2010/52] | Français: | PROCÉDÉ DE TRAITEMENT PAR PLASMA | [2010/52] | Entrée dans la phase régionale | 05.10.2010 | Traduction produite | 06.10.2010 | Taxe nationale de base payée | 06.10.2010 | Taxe de recherche payée | 06.10.2010 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 06.10.2010 | Taxe d'examen payée | Procédure dexamen | 06.10.2010 | Requête en examen déposée [2010/52] | 19.10.2011 | Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription) | 02.05.2016 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 13.09.2016 | La demande est réputée retirée, date d'effet juridique [2017/07] | 06.10.2016 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} [2017/07] | Demande(s) divisionnaire(s) | La date de la première notification de la division d'examen relative à la demande la plus ancienne pour laquelle une notification a été émise est 02.05.2016 | Taxes payées | Taxe annuelle | 17.03.2011 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 15.03.2012 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 15.03.2013 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 03.03.2014 | Taxe annuelle Année du brevet 06 | 16.03.2015 | Taxe annuelle Année du brevet 07 | 04.03.2016 | Taxe annuelle Année du brevet 08 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [YA]US2002092619 (UCHIDA TAIJIRO [JP]) [Y] 2-4 * abstract * * figures 1-4 * * paragraph [0003] * * paragraph [0005] * * paragraph [0009] - paragraph [0012] * * paragraph [0015] * * paragraph [0042] - paragraph [0045] * * paragraph [0051] * * paragraph [0062] * [A] 1,5-7; | [A]US2003230985 (UCHIDA TAIJIRO [JP], et al) [A] 1-7 * the whole document *; | [XDY]EP1793418 (ULVAC INC [JP]) [XD] 1,5-7 * abstract * * paragraph [0031] - paragraph [0038] * * paragraph [0049] * * paragraph [0052] - paragraph [0060] * [Y] 2-4; | [E]EP2178109 (ULVAC INC [JP]) [E] 1-7* the whole document * | Recherche internationale | [Y]WO2006003962 (ULVAC INC [JP], et al); | [Y]JPH0790632 (ULVAC CORP); | [Y]JPH0963792 (ULVAC CORP) | Examen | JP2005116780 | par le demandeur | WO2006003962 |