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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP2481833

EP2481833 - Appareil pour le dépôt de couches atomiques [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
StatutLa demande est réputée retirée
Statut actualisé le  28.06.2013
Base de données mise à jour au 07.10.2024
Dernier événement   Tooltip28.06.2013Demande réputée retiréepublié le 31.07.2013  [2013/31]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Anna van Buerenplein 1
2595 DA 's-Gravenhage / NL
[N/P]
Précédent [2012/31]Pour tous les Etats désignés
Nederlandse Organisatie voor Toegepast -Natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO
Schoemakerstraat 97
2628 VK Delft / NL
Inventeur(s)01 / Vermeer, Adrianus Johannes Petrus Maria
Haagdoom 3
5666 BW Geldrop / NL
02 / Wit, Coen
c/o TNO-PLT
Schoemakerstraat 97
2628 VK Delft / NL
03 / Gortzen, Roger M.W.
c/o Schoemakerstraat 97
2628 VK Delft / NL
 [2012/33]
Mandataire(s)Jansen, Cornelis Marinus, et al
V.O.
Johan de Wittlaan 7
2517 JR Den Haag / NL
[N/P]
Précédent [2012/31]Jansen, Cornelis Marinus, et al
VEREENIGDE Johan de Wittlaan 7
2517 JR Den Haag / NL
Numéro de la demande, date de dépôt11152805.531.01.2011
[2012/31]
Langue de dépôtEN
Langue de la procédureEN
PublicationType: A1 Demande avec rapport de recherche 
N°:EP2481833
Date:01.08.2012
Langue:EN
[2012/31]
Rapport(s) de rechercheRapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:EP06.07.2011
ClassificationIPC:C23C16/458, C23C16/54, C23C16/455, B65G51/03
[2012/31]
CPC:
C23C16/45551 (EP,US); C23C16/458 (EP,KR,US); B05C5/02 (US);
B65G51/03 (KR); C23C16/455 (KR); C23C16/54 (EP,KR,US);
H01L21/6776 (EP,US); H01L21/67784 (EP,US) (-)
Etats contractants désignésAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2012/31]
Etats autorisant lextensionBAPas encore payé
MEPas encore payé
TitreAllemand:Vorrichtung zur Atomschichtablagerung[2012/31]
Anglais:Apparatus for atomic layer deposition[2012/31]
Français:Appareil pour le dépôt de couches atomiques[2012/31]
Procédure dexamen02.02.2013La demande est réputée retirée, date d'effet juridique  [2013/31]
12.03.2013Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0}  [2013/31]
Taxes payéesSurtaxe
Surtaxe concernant la taxe annuelle
31.01.201303   M06   Pas encore payé
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet
Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Citations:Recherche[XDYI]US2009081885  (LEVY DAVID H [US], et al) [XD] 1,3,6 * paragraphs [0142] , [ 145]; figures 1, 16 * [Y] 2,4,5 [I] 8,10,11;
 [XI]US2009291209  (GRANNEMAN ERNST H A [NL], et al) [X] 1,6,7,12-14 * paragraph [0040] - paragraph [0041]; figures 1-9 * * paragraph [0031] * [I] 8,10,11,15;
 [IY]EP2159304  (TNO [NL]) [I] 2 * paragraph [0067]; figure 6 * [Y] 2,4,5
par le demandeurWO2008085474
 US2009081885
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