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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP2764408

EP2764408 - PORTE-SUBSTRAT, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ D'UTILISATION D'UN PORTE-SUBSTRAT [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
Statut	Aucune opposition formée dans le délai Statut actualisé le 10.07.2020 Base de données mise à jour au 04.11.2024
Précédent	Le brevet a été délivré Statut actualisé le 19.07.2019
Précédent	La délivrance du brevet est envisagée Statut actualisé le 02.05.2019
Précédent	L'examen est en cours Statut actualisé le 13.07.2018
Dernier événement Tooltip	01.07.2022	Extinction du brevet dans un Etat contractant Nouvel/nouveaux État(s): MK	publié le 03.08.2022 [2022/31]
Demandeur(s)	Pour tous les Etats désignés ASML Netherlands B.V. P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL
	[2014/33]
Inventeur(s)	01 / GILISSEN, Noud Wagenaarhof 6 NL-2692 BK 's-Gravenzande / NL
	02 / SIJBEN, Anko Tijmveld 63B NL-5467 NA Veghel / NL
	03 / CORNELISSEN, Bas Eimerick 54 NL-5653 RN Eindhoven / NL
	04 / NOTENBOOM, Arnoud De Dauwkade 9 NL-5247 MV Rosmalen / NL
	05 / VAN DER WILK, Ronald Het Groen 23 NL-5511 AC Knegsel / NL
	06 / SCHMITZ, Roger, Wilhelmus, Antonius, Henricus Leeuwenborchweide 26 5709 SC Helmond / NL
	07 / WILL, Manon, Elise Snoekstraat 19 5615 SZ Eindhoven / NL
	[2014/33]
Mandataire(s)	Slenders, Petrus Johannes Waltherus ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property De Run 6501 P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL
	[N/P]
Précédent [2014/33]	Slenders, Petrus J. W. ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL
Numéro de la demande, date de dépôt	12766409.2	19.09.2012
	[2019/34]
	WO2012EP68386
Numéro de priorité, date	US201161544039P	06.10.2011 Format original publié: US 201161544039 P
	[2014/33]
Langue de dépôt	EN
Langue de la procédure	EN
Publication	Type:	A1 Demande avec rapport de recherche
	N°:	WO2013050243
	Date:	11.04.2013
	Langue:	EN
	[2013/15]
	Type:	A1 Demande avec rapport de recherche
	N°:	EP2764408
	Date:	13.08.2014
	Langue:	EN
	La demande publiée par l'OMPI le 11.04.2013, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen.
	[2014/33]
	Type:	B1 Fascicule de brevet
	N°:	EP2764408
	Date:	21.08.2019
	Langue:	EN
	[2019/34]
Rapport(s) de recherche	Rapport de recherche internationale - publié le:	EP	11.04.2013
Classification	IPC:	G03F7/20	[2014/33]
	CPC:	G03F7/70708 (EP,US); G03F7/707 (US); G03F7/70875 (EP,US); G03F7/70908 (US); G10L15/08 (EP,US); H01L21/6831 (EP,US); (+) G10L2015/223 (EP,US) (-)
Etats contractants désignés	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2014/33]
Etats autorisant lextension	BA	Pas encore payé
	ME	Pas encore payé
Titre	Allemand:	HALTEVORRICHTUNG, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DER HALTEVORRICHTUNG	[2019/19]
	Anglais:	CHUCK, LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF USING A CHUCK	[2014/33]
	Français:	PORTE-SUBSTRAT, APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ D'UTILISATION D'UN PORTE-SUBSTRAT	[2014/33]
	Précédent [2014/33]	SPANNFUTTER, LITHOGRAPHIEVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERWENDUNG DES SPANNFUTTERS
Entrée dans la phase régionale	06.03.2014	Taxe nationale de base payée
	06.03.2014	Taxe(s) de désignation payée(s)
	06.03.2014	Taxe d'examen payée
Procédure d'examen	06.03.2014	Requête en examen déposée [2014/33]
	25.09.2014	Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription)
	12.07.2018	Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04)
	09.11.2018	Réponse à une notification de la division dexamen
	03.05.2019	Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
	09.07.2019	Taxe de délivrance payée
	09.07.2019	Taxe publication/d‘impression payée
	09.07.2019	Réception des traductions de la/des revendication(s)
Demande(s) divisionnaire(s)	La date de la première notification de la division d'examen relative à la demande la plus ancienne pour laquelle une notification a été émise est 12.07.2018
Opposition(s)	03.06.2020	Aucune opposition formée dans le délai imparti [2020/33]
Taxes payées	Taxe annuelle
	26.09.2014	Taxe annuelle Année du brevet 03
	25.09.2015	Taxe annuelle Année du brevet 04
	22.09.2016	Taxe annuelle Année du brevet 05
	26.09.2017	Taxe annuelle Année du brevet 06
	25.09.2018	Taxe annuelle Année du brevet 07
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet	Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
	La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition Tooltip	HU	19.09.2012
	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CY	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
	DK	21.08.2019
	EE	21.08.2019
	ES	21.08.2019
	FI	21.08.2019
	HR	21.08.2019
	IT	21.08.2019
	LT	21.08.2019
	LV	21.08.2019
	MC	21.08.2019
	MK	21.08.2019
	MT	21.08.2019
	NL	21.08.2019
	PL	21.08.2019
	RO	21.08.2019
	RS	21.08.2019
	SE	21.08.2019
	SI	21.08.2019
	SK	21.08.2019
	SM	21.08.2019
	TR	21.08.2019
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	CH	30.09.2019
	LI	30.09.2019
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	NO	21.11.2019
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	PT	23.12.2019
	[2022/31]
Précédent [2021/34]	HU	19.09.2012
	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CY	21.08.2019
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Précédent [2021/33]	HU	19.09.2012
	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
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Précédent [2021/26]	AL	21.08.2019
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	NO	21.11.2019
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	PT	23.12.2019
Précédent [2020/48]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
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	MC	21.08.2019
	NL	21.08.2019
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	GB	21.11.2019
	NO	21.11.2019
	GR	22.11.2019
	IS	21.12.2019
	PT	23.12.2019
Précédent [2020/37]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
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	EE	21.08.2019
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Précédent [2020/36]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
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	LT	21.08.2019
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	NO	21.11.2019
	GR	22.11.2019
	IS	21.12.2019
	PT	23.12.2019
Précédent [2020/35]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
	DK	21.08.2019
	EE	21.08.2019
	ES	21.08.2019
	FI	21.08.2019
	HR	21.08.2019
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	PL	21.08.2019
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	SM	21.08.2019
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	LU	19.09.2019
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	NO	21.11.2019
	GR	22.11.2019
	PT	23.12.2019
	IS	24.02.2020
Précédent [2020/34]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
	DK	21.08.2019
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	ES	21.08.2019
	FI	21.08.2019
	HR	21.08.2019
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	SE	21.08.2019
	SK	21.08.2019
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	CH	30.09.2019
	LI	30.09.2019
	BG	21.11.2019
	NO	21.11.2019
	GR	22.11.2019
	PT	23.12.2019
	IS	24.02.2020
Précédent [2020/27]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
	DK	21.08.2019
	EE	21.08.2019
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	HR	21.08.2019
	IT	21.08.2019
	LT	21.08.2019
	LV	21.08.2019
	MC	21.08.2019
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	PL	21.08.2019
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	RS	21.08.2019
	SE	21.08.2019
	SK	21.08.2019
	SM	21.08.2019
	TR	21.08.2019
	BG	21.11.2019
	NO	21.11.2019
	GR	22.11.2019
	PT	23.12.2019
	IS	24.02.2020
Précédent [2020/25]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	CZ	21.08.2019
	DK	21.08.2019
	EE	21.08.2019
	ES	21.08.2019
	FI	21.08.2019
	HR	21.08.2019
	IT	21.08.2019
	LT	21.08.2019
	LV	21.08.2019
	NL	21.08.2019
	PL	21.08.2019
	RO	21.08.2019
	RS	21.08.2019
	SE	21.08.2019
	SK	21.08.2019
	TR	21.08.2019
	BG	21.11.2019
	NO	21.11.2019
	GR	22.11.2019
	PT	23.12.2019
	IS	24.02.2020
Précédent [2020/24]	AL	21.08.2019
	AT	21.08.2019
	DK	21.08.2019
	EE	21.08.2019
	ES	21.08.2019
	FI	21.08.2019
	HR	21.08.2019
	IT	21.08.2019
	LT	21.08.2019
	LV	21.08.2019
	NL	21.08.2019
	PL	21.08.2019
	RO	21.08.2019
	RS	21.08.2019
	SE	21.08.2019
	TR	21.08.2019
	BG	21.11.2019
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		JP2002231799

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