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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP2618188

EP2618188 - Appareil optique d'illumination, appareil d'exposition et procédé d'exposition [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
Précédent [2013/30]Élément de modulation-polarisation, appareil optique dýillumination, appareil dýexposition et procédé dýexposition
[2015/28]
StatutAucune opposition formée dans le délai
Statut actualisé le  12.08.2016
Base de données mise à jour au 20.09.2024
Dernier événement   Tooltip17.08.2018Extinction du brevet dans un Etat contractant
Nouvel/nouveaux État(s): BG		publié le 19.09.2018  [2018/38]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
Nikon Corporation
15-3, Konan 2-chome
Minato-ku
Tokyo 108-6290 / JP
[2015/36]
Précédent [2013/30]Pour tous les Etats désignés
Nikon Corporation
12-1, Yurakucho 1-chome Chiyoda-ku
Tokyo 100-8331 / JP
Inventeur(s)01 / Tanitsu, Osamu
c/o NIKON CORPORATION
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku
Tokyo, 100-8331 / JP
02 / Shigematsu, Koji
c/o NIKON CORPORATION
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku
Tokyo, 100-8331 / JP
03 / Hirota, Hiroyuki
c/o NIKON CORPORATION
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku
Tokyo, 100-8331 / JP
04 / Matsuyama, Tomoyuki
c/o NIKON CORPORATION
2-3, Marunouchi 3-chome
Chiyoda-ku
Tokyo, 100-8331 / JP
 [2013/30]
Mandataire(s)Hoffmann Eitle
Patent- und Rechtsanwälte PartmbB
Arabellastraße 30
81925 München / DE
[2015/41]
Précédent [2013/30]HOFFMANN EITLE
Patent- und Rechtsanwälte
Arabellastrasse 4
81925 München / DE
Numéro de la demande, date de dépôt13156324.914.01.2005
[2013/30]
Numéro de priorité, dateJP2004003055506.02.2004         Format original publié: JP 2004030555
JP2004035821810.12.2004         Format original publié: JP 2004358218
[2013/30]
Langue de dépôtEN
Langue de la procédureEN
PublicationType: A1 Demande avec rapport de recherche 
N°:EP2618188
Date:24.07.2013
Langue:EN
[2013/30]
Type: B1 Fascicule de brevet 
N°:EP2618188
Date:07.10.2015
Langue:EN
[2015/41]
Rapport(s) de rechercheRapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:EP21.06.2013
ClassificationIPC:G02B5/30, G03F7/20, H01L21/027
[2013/30]
CPC:
G03F7/70566 (EP,KR,US); G03F7/2006 (KR); F21V13/02 (EP,KR,US);
F21V9/14 (KR,US); G02B27/0977 (US); G02B27/286 (EP,KR,US);
G02B5/3025 (US); G03F7/70058 (KR); G03F7/701 (EP,KR);
G03F7/70191 (US); G03F7/70308 (US) (-)
Etats contractants désignésAT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   MC,   NL,   PL,   PT,   RO,   SE,   SI,   SK,   TR [2015/41]
Précédent [2013/30]AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  MC,  NL,  PL,  PT,  RO,  SE,  SI,  SK,  TR 
TitreAllemand:Optisches Beleuchtungsgerät, Belichtungsgerät und Belichtungsverfahren[2015/28]
Anglais:Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method[2015/28]
Français:Appareil optique d'illumination, appareil d'exposition et procédé d'exposition[2015/28]
Précédent [2013/30]Polarisierungsmodulationslement, optisches Beleuchtungsgerät, Belichtungsgerät und Belichtungsverfahren
Précédent [2013/30]Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method
Précédent [2013/30]Élément de modulation-polarisation, appareil optique dýillumination, appareil dýexposition et procédé dýexposition
Procédure d'examen21.01.2014Requête en examen déposée  [2014/10]
22.01.2014Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription)
29.04.2014Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M03)
11.08.2014Réponse à une notification de la division dexamen
30.10.2014Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04)
14.01.2015Réponse à une notification de la division dexamen
16.04.2015Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M02)
22.04.2015Réponse à une notification de la division dexamen
16.06.2015Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
10.08.2015Désaccord du demandeur concernant la notification relative à l'intention de délivrer un brevet ou reprise de la procédure d'examen par l'OEB
10.08.2015Taxe de délivrance payée
10.08.2015Taxe publication/d‘impression payée
27.08.2015Informations concernant l’intention de délivrer un brevet
27.08.2015Réception des traductions de la/des revendication(s)
Demande(s) initiale(s)   TooltipEP05703646.9  / EP1720047
Demande(s) divisionnaire(s)La date de la première notification de la division d'examen relative à la demande la plus ancienne pour laquelle une notification a été émise (EP20050703646) est  15.02.2011
Opposition(s)08.07.2016Aucune opposition formée dans le délai imparti [2016/37]
Taxes payéesTaxe annuelle
20.03.2013Taxe annuelle Année du brevet 03
20.03.2013Taxe annuelle Année du brevet 04
20.03.2013Taxe annuelle Année du brevet 05
20.03.2013Taxe annuelle Année du brevet 06
20.03.2013Taxe annuelle Année du brevet 07
20.03.2013Taxe annuelle Année du brevet 08
20.03.2013Taxe annuelle Année du brevet 09
28.01.2014Taxe annuelle Année du brevet 10
15.01.2015Taxe annuelle Année du brevet 11
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet		 Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition  TooltipHU14.01.2005
AT07.10.2015
BE07.10.2015
BG07.10.2015
CY07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SI07.10.2015
SK07.10.2015
TR07.10.2015
GR08.01.2016
GB14.01.2016
LU14.01.2016
CH31.01.2016
LI31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
[2018/38]
Précédent [2018/29]HU14.01.2005
AT07.10.2015
BE07.10.2015
CY07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SI07.10.2015
SK07.10.2015
TR07.10.2015
GR08.01.2016
GB14.01.2016
LU14.01.2016
CH31.01.2016
LI31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2018/28]HU14.01.2005
AT07.10.2015
BE07.10.2015
CY07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SI07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
GB14.01.2016
LU14.01.2016
CH31.01.2016
LI31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2017/03]AT07.10.2015
BE07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SI07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
GB14.01.2016
LU14.01.2016
CH31.01.2016
LI31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/49]AT07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SI07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
GB14.01.2016
LU14.01.2016
BE31.01.2016
CH31.01.2016
LI31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/47]AT07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
GB14.01.2016
LU14.01.2016
BE31.01.2016
CH31.01.2016
LI31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/46]AT07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
LU14.01.2016
BE31.01.2016
CH31.01.2016
LI31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/42]AT07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
MC07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
LU14.01.2016
BE31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/39]AT07.10.2015
CZ07.10.2015
DK07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
LU14.01.2016
BE31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/36]AT07.10.2015
CZ07.10.2015
EE07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
PL07.10.2015
RO07.10.2015
SE07.10.2015
SK07.10.2015
GR08.01.2016
BE31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/34]AT07.10.2015
CZ07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
PL07.10.2015
SE07.10.2015
GR08.01.2016
BE31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/24]AT07.10.2015
ES07.10.2015
FI07.10.2015
LT07.10.2015
PL07.10.2015
SE07.10.2015
GR08.01.2016
BE31.01.2016
IS07.02.2016
PT08.02.2016
Précédent [2016/23]ES07.10.2015
LT07.10.2015
SE07.10.2015
IS07.02.2016
Précédent [2016/22]ES07.10.2015
LT07.10.2015
IS07.02.2016
Précédent [2016/20]ES07.10.2015
LT07.10.2015
Citations:Recherche[XI]EP0764858  (ZEISS CARL [DE], et al) [X] 1,18,20,22,24 * abstract * * column 5, line 27 - column 7, line 44 * * figures 3a,3b,5 * [I] 2-17,19,21,23;
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 [A]GB856621  (NAT RES DEV) [A] 1-24 * figure 4 * * page 3, lines 11-61 *
ExamenJPH0653120
par le demandeurJP3246615B
 WO9949504
 JPH06124873
 JPH10303114
    - TSURUTA, "Pencil of Light-Applied Optics for optical engineers", K.K. SHINGIJUTSU COMMUNICATIONS
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