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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP3038148

EP3038148 - PROCÉDÉ DE COLLAGE TEMPORAIRE DE TRANCHE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE TRANCHE MINCE [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
StatutAucune opposition formée dans le délai
Statut actualisé le  08.06.2018
Base de données mise à jour au 28.03.2026
PrécédentLe brevet a été délivré
Statut actualisé le  30.06.2017
PrécédentLa délivrance du brevet est envisagée
Statut actualisé le  28.02.2017
PrécédentLa requête en examen a été présentée
Statut actualisé le  30.12.2016
Dernier événement   Tooltip17.07.2020Extinction du brevet dans un Etat contractant
Nouvel/nouveaux État(s): AL		publié le 19.08.2020  [2020/34]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
6-1, Ohtemachi 2-chome
Chiyoda-ku
Tokyo / JP
[2016/26]
Inventeur(s)01 / YASUDA, Hiroyuki
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
c/o Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
02 / SUGO, Michihiro
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
c/o Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
03 / TAGAMI, Shohei
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
c/o Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
04 / TANABE, Masahito
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
c/o Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
 [2017/31]
Précédent [2016/26]01 / YASUDA, Hiroyuki
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., c/o
Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
02 / SUGO, Michihiro
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., c/o
Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
03 / TAGAMI, Shohei
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., c/o
Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
04 / TANABE, Masahito
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., c/o
Silicone-Electronics Materials Research Center
1-10, Hitomi, Matsuida-machi
Annaka-shi, Gunma / JP
Mandataire(s)Ter Meer Steinmeister & Partner
Patentanwälte mbB
Nymphenburger Straße 4
80335 München / DE
[2017/31]
Précédent [2016/26]Merkle, Gebhard
Ter Meer Steinmeister & Partner
Patentanwälte mbB
Nymphenburger Straße 4
80335 München / DE
Numéro de la demande, date de dépôt15201534.321.12.2015
[2016/26]
Numéro de priorité, dateJP2014025981324.12.2014         Format original publié: JP 2014259813
[2016/26]
Langue de dépôtEN
Langue de la procédureEN
PublicationType: A1 Demande avec rapport de recherche 
N°:EP3038148
Date:29.06.2016
Langue:EN
[2016/26]
Type: B1 Fascicule de brevet 
N°:EP3038148
Date:02.08.2017
Langue:EN
[2017/31]
Rapport(s) de rechercheRapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:EP20.05.2016
ClassificationIPC:H01L21/683, C09J7/02, B24B37/30
[2017/12]
CPC:
H10P72/7402 (EP,US); H10W95/00 (CN); B24B37/30 (EP,US);
B32B7/06 (US); B32B7/12 (US); C09J183/04 (US);
C09J7/10 (EP,US); H10P52/00 (US); H10P52/402 (US);
H10P72/74 (EP,US); H10P72/7448 (EP); C09J2203/326 (EP);
C09J2301/208 (EP); C09J2301/304 (EP); C09J2483/00 (EP);
H10P72/7416 (EP,US); H10P72/7422 (EP,US); H10P72/744 (EP,US) (-)
Précédent IPC [2016/26]H01L21/683
Etats contractants désignésAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2017/05]
Précédent [2016/26]AL,  AT,  BE,  BG,  CH,  CY,  CZ,  DE,  DK,  EE,  ES,  FI,  FR,  GB,  GR,  HR,  HU,  IE,  IS,  IT,  LI,  LT,  LU,  LV,  MC,  MK,  MT,  NL,  NO,  PL,  PT,  RO,  RS,  SE,  SI,  SK,  SM,  TR 
TitreAllemand:VERFAHREN ZUR TEMPORÄREN WAFERBINDUNG UND DÜNNSCHICHTWAFERHERSTELLUNGSVERFAHREN[2016/26]
Anglais:WAFER TEMPORARY BONDING METHOD AND THIN WAFER MANUFACTURING METHOD[2016/26]
Français:PROCÉDÉ DE COLLAGE TEMPORAIRE DE TRANCHE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE TRANCHE MINCE[2016/26]
Procédure d'examen21.12.2015Date à laquelle la division d’examen est devenue compétente
21.12.2016Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription)
21.12.2016Requête en examen déposée  [2017/05]
01.03.2017Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
23.06.2017Taxe de délivrance payée
23.06.2017Taxe publication/d‘impression payée
23.06.2017Réception des traductions de la/des revendication(s)
Opposition(s)03.05.2018Aucune opposition formée dans le délai imparti [2018/28]
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet		 Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition  TooltipHU21.12.2015
AL02.08.2017
AT02.08.2017
CY02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
MC02.08.2017
MK02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
PT02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
TR02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
[2020/34]
Précédent [2020/28]HU21.12.2015
AT02.08.2017
CY02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
MC02.08.2017
MK02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
PT02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
TR02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
Précédent [2020/15]HU21.12.2015
AT02.08.2017
CY02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
MC02.08.2017
MK02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
TR02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
Précédent [2019/52]HU21.12.2015
AT02.08.2017
CY02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
MC02.08.2017
MK02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
Précédent [2019/47]HU21.12.2015
AT02.08.2017
CY02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
MC02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
Précédent [2019/31]HU21.12.2015
AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
MC02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
Précédent [2019/30]AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
MC02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
Précédent [2018/50]AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
BE31.12.2017
Précédent [2018/45]AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
IE21.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
Précédent [2018/43]AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
LU21.12.2017
MT21.12.2017
Précédent [2018/40]AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SI02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
Précédent [2018/24]AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
EE02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RO02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
SK02.08.2017
SM02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
Précédent [2018/21]AT02.08.2017
CZ02.08.2017
DK02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
Précédent [2018/12]AT02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
LV02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
Précédent [2018/11]AT02.08.2017
ES02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
NL02.08.2017
PL02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
BG02.11.2017
NO02.11.2017
GR03.11.2017
IS02.12.2017
Précédent [2018/10]AT02.08.2017
FI02.08.2017
HR02.08.2017
LT02.08.2017
NL02.08.2017
RS02.08.2017
SE02.08.2017
NO02.11.2017
Précédent [2018/09]FI02.08.2017
LT02.08.2017
NL02.08.2017
SE02.08.2017
NO02.11.2017
Précédent [2018/08]FI02.08.2017
LT02.08.2017
NL02.08.2017
NO02.11.2017
Précédent [2018/07]LT02.08.2017
NO02.11.2017
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