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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP3928349

EP3928349 - BÂTI CVD AVEC MOYENS DE MODIFICATION LOCALE DE LA TEMPÉRATURE DU SUPPORT [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
Précédent [2021/52]	RÉACTEUR DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR COMPRENANT DES MOYENS PERMETTANT D'INFLUER LOCALEMENT SUR LA TEMPÉRATURE DU SUSCEPTEUR
	[2023/35]
Statut	Le brevet a été délivré Statut actualisé le 16.02.2024 Base de données mise à jour au 07.10.2024
Précédent	La délivrance du brevet est envisagée Statut actualisé le 07.09.2023
Précédent	La requête en examen a été présentée Statut actualisé le 26.11.2021
Précédent	La publication internationale a été faite Statut actualisé le 28.08.2020
Précédent	inconnu Statut actualisé le 24.02.2020
Dernier événement Tooltip	19.07.2024	Extinction du brevet dans un Etat contractant Nouvel/nouveaux État(s): GR, HR, RS	publié le 21.08.2024 [2024/34]
Demandeur(s)	Pour tous les Etats désignés Aixtron SE Dornkaulstrasse 2 52134 Herzogenrath / DE
	[2021/52]
Inventeur(s)	01 / LAUFFER, Peter Sebald Rolandstr. 12 52070 Aachen / DE
	[2024/12]
Précédent [2021/52]	01 / LAUFFER, Peter Sebald 52070 Aachen / DE
Mandataire(s)	Grundmann, Dirk, et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal / DE
	[2021/52]
Numéro de la demande, date de dépôt	20704519.6	10.02.2020
	[2021/52]
	WO2020EP53289
Numéro de priorité, date	DE201910104433	21.02.2019 Format original publié: DE102019104433
	[2021/52]
Langue de dépôt	DE
Langue de la procédure	DE
Publication	Type:	A2 Demande sans rapport de recherche
	N°:	WO2020169385
	Date:	27.08.2020
	Langue:	DE
	[2020/35]
	Type:	A2 Demande sans rapport de recherche
	N°:	EP3928349
	Date:	29.12.2021
	Langue:	DE
	La demande publiée par l'OMPI le 27.08.2020, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen.
	[2021/52]
	Type:	B1 Fascicule de brevet
	N°:	EP3928349
	Date:	20.03.2024
	Langue:	DE
	[2024/12]
Rapport(s) de recherche	Rapport de recherche internationale - publié le:	EP	18.03.2021
Classification	IPC:	H01L21/687, C23C16/458, H01L21/67, C23C16/46, // C23C16/455	[2023/35]
	CPC:	H01L21/68764 (EP,KR); C23C16/4586 (EP,KR); C23C16/46 (CN,US); C23C16/45508 (EP,KR); C23C16/4584 (EP,KR,US); C23C16/466 (EP,KR); (+) C23C16/52 (CN,US); H01L21/67103 (EP,KR); H01L21/67109 (EP,KR); H01L21/68771 (EP,KR); H01L21/67248 (EP,KR) (-)
	Précédent IPC [2021/52]	H01L21/687, C23C16/46, H01L21/67, C23C16/458
Etats contractants désignés	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2021/52]
Etats autorisant lextension	BA	Pas encore payé
	ME	Pas encore payé
État(s) autorisant la validation	KH	Pas encore payé
	MA	Pas encore payé
	MD	Pas encore payé
	TN	Pas encore payé
Titre	Allemand:	CVD-REAKTOR MIT MITTELN ZUR LOKALEN BEEINFLUSSUNG DER SUSZEPTORTEMPERATUR	[2021/52]
	Anglais:	CVD REACTOR WITH MEANS FOR LOCALLY INFLUENCING THE SUSCEPTOR TEMPERATURE	[2023/35]
	Français:	BÂTI CVD AVEC MOYENS DE MODIFICATION LOCALE DE LA TEMPÉRATURE DU SUPPORT	[2023/35]
	Précédent [2021/52]	CVD REACTOR HAVING MEANS FOR LOCALLY INFLUENCING THE SUSCEPTOR TEMPERATURE
	Précédent [2021/52]	RÉACTEUR DE DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR COMPRENANT DES MOYENS PERMETTANT D'INFLUER LOCALEMENT SUR LA TEMPÉRATURE DU SUSCEPTEUR
Entrée dans la phase régionale	14.09.2021	Taxe nationale de base payée
	14.09.2021	Taxe(s) de désignation payée(s)
	14.09.2021	Taxe d'examen payée
Procédure d'examen	14.09.2021	Requête en examen déposée [2021/52]
	14.09.2021	Date à laquelle la division d’examen est devenue compétente
	28.03.2022	Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription)
	08.09.2023	Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
	08.01.2024	Taxe de délivrance payée
	08.01.2024	Taxe publication/d‘impression payée
	08.01.2024	Réception des traductions de la/des revendication(s)
Demande(s) divisionnaire(s)	EP24151152.6 / EP4328352
Taxes payées	Taxe annuelle
	14.02.2022	Taxe annuelle Année du brevet 03
	16.02.2023	Taxe annuelle Année du brevet 04
	13.02.2024	Taxe annuelle Année du brevet 05
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet	Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
	La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition Tooltip	HR	20.03.2024
	NO	20.06.2024
	RS	20.06.2024
	GR	21.06.2024
	[2024/34]
Précédent [2024/33]	NO	20.06.2024
Cité dans	Recherche internationale	[A]US5155336 (GRONET CHRISTIAN M [US], et al);
		[A]US6001183 (GURARY ALEXANDER I [US], et al);
		[A]DE10064942 (AIXTRON AG [DE]);
		[XA]DE102007026348 (AIXTRON AG [DE]);
		[XD]DE102009044276 (AIXTRON AG [DE]);
		[A]US2012003389 (BRIEN DANIEL [DE], et al);
		[AD]US8249436 (ADERHOLD WOLFGANG R [US], et al);
		[A]US2018002830 (YUDOVSKY JOSEPH [US], et al);
		[A]DE102017105947 (AIXTRON SE [DE])
	par le demandeur	US5468299
		DE102005056536
		DE102009043960
		DE102009044276
		US8249436
		DE102011053498
		DE102011055061
		DE102013109155
		DE102014104218
		US2018182635
		DE102017105333

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