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EP4367557
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP4367557
| EP4367557 - SYSTÈME DE MESURE DE POSITION, SYSTÈME DE POSITIONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La requête en examen a été présentée Statut actualisé le 12.04.2024 Base de données mise à jour au 19.10.2024 | |
| Précédent | La publication internationale a été faite Statut actualisé le 13.01.2023 | ||
| Précédent | inconnu Statut actualisé le 05.08.2022 | Dernier événement Tooltip | 13.09.2024 | Changement : État(s) autorisant la validation | publié le 16.10.2024 [2024/42] | 13.09.2024 | Changement - Etats autorisant l'extension | publié le 16.10.2024 [2024/42] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés ASML Netherlands B.V. P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | [2024/20] | Inventeur(s) | 01 /
VAN DE KERKHOF, Marcus, Adrianus Veldhoven 5500 AH / NL | [2024/20] | Mandataire(s) | ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven / NL | [2024/20] | Numéro de la demande, date de dépôt | 22744418.9 | 30.06.2022 | [2024/20] | WO2022EP68214 | Numéro de priorité, date | EP20210184382 | 07.07.2021 Format original publié: EP 21184382 | [2024/20] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO2023280692 | Date: | 12.01.2023 | Langue: | EN | [2023/02] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP4367557 | Date: | 15.05.2024 | Langue: | EN | La demande publiée par l'OMPI le 12.01.2023, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen. | [2024/20] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | EP | 12.01.2023 | Classification | IPC: | G03F7/20 | [2024/20] | CPC: |
G03F7/70775 (EP);
G03F7/70725 (EP)
| Etats contractants désignés | AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2024/20] | Titre | Allemand: | POSITIONSMESSSYSTEM, POSITIONIERUNGSSYSTEM, LITHOGRAFISCHE VORRICHTUNG UND VORRICHTUNGSHERSTELLUNGSVERFAHREN | [2024/20] | Anglais: | A POSITION MEASUREMENT SYSTEM, A POSITIONING SYSTEM, A LITHOGRAPHIC APPARATUS, AND A DEVICE MANUFACTURING METHOD | [2024/20] | Français: | SYSTÈME DE MESURE DE POSITION, SYSTÈME DE POSITIONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF | [2024/20] | Entrée dans la phase régionale | 01.12.2023 | Taxe nationale de base payée | 01.12.2023 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 01.12.2023 | Taxe d'examen payée | Procédure dexamen | 01.12.2023 | Requête en examen déposée [2024/20] | 01.12.2023 | Date à laquelle la division d’examen est devenue compétente | 03.09.2024 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} | Taxes payées | Taxe annuelle | 31.03.2024 | Taxe annuelle Année du brevet 03 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Cité dans | Recherche internationale | [XY]US2013293962 (SCHNIER DIETMAR [DE]) [X] 1,2,6-13 * paragraph [0047] - paragraph [0073] * * figures 1-4,9,11 * [Y] 3-5; | [YA]WO2017001124 (ASML NETHERLANDS BV [NL]) [Y] 3-5 * page 9, line 6 - page 12, line 16 * * figure 4 *[A] 1,13 | par le demandeur | US6020964 | US6952253 | US2007058173 |