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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP0233333

EP0233333 - Procédé de traitement de photoréserves [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
Statut	Opposition rejetée Statut actualisé le 06.12.1996 Base de données mise à jour au 02.04.2025
Dernier événement Tooltip	19.09.2008	Changement - mandataire	publié le 22.10.2008 [2008/43]
Demandeur(s)	Pour tous les Etats désignés USHIO DENKI Asahi-Tokai Building 19 No. 6-1, 2-chome Ote-machi Chiyoda-ku Tokyo, 100 / JP
	[1987/35]
Inventeur(s)	01 / Tanaka, Kazuya USHIO DENKI 6409 motoishikawa-cho Midori-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	02 / Ueki, Kazuyoshi USHIO DENKI 6409 motoishikawa-cho Midori-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	03 / Suzuki, Hiroko USHIO DENKI 6409 motoishikawa-cho Midori-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	04 / Mimura, Yoshiki USHIO DENKI 6409 motoishikawa-cho Midori-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	05 / Suzuki, Shinji USHIO DENKI 6409 motoishikawa-cho Midori-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	06 / Sugioka, Shinji USHIO DENKI 6409 motoishikawa-cho Midori-ku Yokohama-shi Kanagawa / JP
	[1987/35]
Mandataire(s)	Lang, Friedrich, et al Lang & Tomerius Patentanwaltspartnerschaft mbB Rosa-Bavarese-Strasse 5 80639 München / DE
	[N/P]
Précédent [2008/43]	Lang, Friedrich, et al Lang & Tomerius Patentanwälte Landsberger Strasse 300 80687 München / DE
Précédent [1995/34]	Lang, Friedrich, Dipl.-Ing., et al Patentanwälte Weber & Heim Irmgardstrasse 3 D-81479 München / DE
Précédent [1995/33]	Lang, Friedrich, Dipl.-Ing. Patentanwälte Weber & Heim Hofbrunnstrasse 36 D-81479 München / DE
Précédent [1988/28]	Betten, Jürgen, Dipl.-Ing. Betten & Resch Patentanwälte Reichenbachstrasse 19 D-80469 München / DE
Précédent [1987/35]	Betten, Jürgen Dipl.-Ing. Betten & Gleiss Patentanwälte Reichenbachstrasse 19 D-8000 München 5 / DE
Numéro de la demande, date de dépôt	86116308.7	25.11.1986
	[1987/35]
Numéro de priorité, date	JP19860028774	14.02.1986 Format original publié: JP 2877486
	[1987/35]
Langue de dépôt	EN
Langue de la procédure	EN
Publication	Type:	A2 Demande sans rapport de recherche
	N°:	EP0233333
	Date:	26.08.1987
	Langue:	EN
	[1987/35]
	Type:	A3 Rapport de recherche
	N°:	EP0233333
	Date:	24.02.1988
	Langue:	EN
	[1988/08]
	Type:	B1 Fascicule de brevet
	N°:	EP0233333
	Date:	10.02.1993
	Langue:	EN
	[1993/06]
Rapport(s) de recherche	Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:	EP	06.01.1988
Classification	IPC:	G03F7/26	[1987/35]
	CPC:	G03F7/2022 (EP)
Etats contractants désignés	DE, GB, NL [1987/35]
Titre	Allemand:	Photolack-Behandlungsverfahren	[1987/35]
	Anglais:	Method of treating photoresists	[1987/35]
	Français:	Procédé de traitement de photoréserves	[1987/35]
Procédure d'examen	24.07.1988	Requête en examen déposée [1988/42]
	25.09.1990	Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06)
	21.03.1991	Réponse à une notification de la division dexamen
	16.07.1991	Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04)
	21.11.1991	Réponse à une notification de la division dexamen
	28.04.1992	Envoi de la notification relative à l'intention de délivrer le brevet (Accord : Oui)
	12.08.1992	Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
	28.09.1992	Taxe de délivrance payée
	28.09.1992	Taxe publication/d‘impression payée
Opposition(s)	Opposant(s)	01 08.11.1993 17.12.1993 ADMISSIBLE FUSION SYSTEM CORPORATION 7600 Standish Place Rockville, Maryland 20855 / US Mandataire de l'opposant Prinz, Egon Prinz & Partner Manzingerweg 7 81241 München / DE
		[N/P]
	Précédent [1994/02]
	Opposant(s)	01 08.11.1993 17.12.1993 ADMISSIBLE FUSION SYSTEM CORPORATION 7600 Standish Place Rockville, Maryland 20855 / US Mandataire de l'opposant Prinz, Egon Prinz & Partner Manzingerweg 7 D-81241 München / DE
	17.01.1994	Invitation faite au titulaire de présenter ses observations concernant lacte dopposition
	09.03.1995	Date des procédures orales
	24.03.1995	Envoi du procès-verbal des procédures orales
	05.11.1996	Date d'envoi de la notification de rejet de l'opposition
	23.11.1996	Effet juridique du rejet de l'opposition [1997/04]
Recours après opposition	26.05.1995	Recours reçu No. T0480/95
	27.07.1995	Mémoire exposant les motifs du recours remis
	05.11.1996	Résultat de la procédure de recours : maintien du brevet tel que délivré
Taxes payées	Taxe annuelle
	18.11.1988	Taxe annuelle Année du brevet 03
	27.11.1989	Taxe annuelle Année du brevet 04
	30.11.1990	Taxe annuelle Année du brevet 05
	28.11.1991	Taxe annuelle Année du brevet 06
	27.11.1992	Taxe annuelle Année du brevet 07
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet	Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
	La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition Tooltip	GB	25.11.1995
	NL	01.06.1996
	[1997/51]
Précédent [1996/47]	GB	25.11.1995
Citations:	Recherche	[Y]GB2143961
		[Y] - MICROELECTRONIC ENGINEERING, vol. 3, no. 1/4, December 1985, pages 329-337, Elsevier Science Publishers B.V., North-Holland, Amsterdam, NL; A. GUTMANN et al.: "Thermal stability and etching resistance of formaldehyde- and deep UV-hardened photoresists"
		[Y] - SOLID STATE TECHNOLOGY, vol. 27, no. 7, July 1984, pages 45-46, Port Washington, New York, US; "Photoresist stabilization system"
		[A] - IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, vol. 26, no. 2, July 1983, pages 656-657, New York, US; F. MARTINET: "Control of resist-hardening process in a barrel plasma etcher system"
		[A] - JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, vol. 29, no. 6, June 1982, pages 1379-1382, Princeton, New Jersey, US; R. ALLEN et al.: "Deep U.V. hardening of positive photoresist patterns"

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