-
EP0406434
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP0406434
| EP0406434 - PROCEDE DE GRAVURE PAR LA VOIE SECHE [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | Aucune opposition formée dans le délai Statut actualisé le 23.05.1997 Base de données mise à jour au 04.11.2024 | Dernier événement Tooltip | 23.05.1997 | Aucune opposition formée dans le délai | publié le 09.07.1997 [1997/28] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés KABUSHIKI KAISHA SHIBAURA SEISAKUSHO 1-12, Akasaka 1-Chome Minato-Ku Tokio-To / JP | [N/P] |
| Précédent [1994/07] | Pour tous les Etats désignés KABUSHIKI KAISHA SHIBAURA SEISAKUSHO 1-12, Akasaka 1-Chome Minato-Ku Tokio-To / JP | ||
| Précédent [1991/02] | Pour tous les Etats désignés KABUSHIKI KAISHA TOKUDA SEISAKUSHO 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi Kanagawa 228 / JP | Inventeur(s) | 01 /
NONAKA, Mikio, Kabushiki Kaiha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi, Kanagawa 228 / JP | 02 /
HARA, Hiroyuki, Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi, Kanagawa 228 / JP | [1991/14] |
| Précédent [1991/02] | 01 /
NONAKA, Mikio Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi Kanagawa 228 / JP | ||
| 02 /
HARA, Hiroyuki Kabushiki Kaisha Tokuda Seisakusho 25-22, Sagamigaoka 6-chome Zama-shi Kanagawa 228 / JP | Mandataire(s) | Liesegang, Roland, et al Boehmert & Boehmert Anwaltspartnerschaft mbB Pettenkoferstrasse 22 80336 München / DE | [N/P] |
| Précédent [1994/07] | Liesegang, Roland, Dr.-Ing., et al FORRESTER & BOEHMERT Franz-Joseph-Strasse 38 D-80801 München / DE | ||
| Précédent [1991/02] | Münzhuber, Robert, Dipl.-Phys. c/o BOEHMERT & BOEHMERT Rumfordstrasse 10 D-8000 München 5 / DE | Numéro de la demande, date de dépôt | 89912656.9 | 17.11.1989 | [1991/02] | WO1989JP01174 | Numéro de priorité, date | JP19880291736 | 18.11.1988 Format original publié: JP 29173688 | JP19890002461 | 09.01.1989 Format original publié: JP 246189 | JP19890135189 | 29.05.1989 Format original publié: JP 13518989 | [1991/14] |
| Précédent [1991/02] | JP19880291736 | 18.11.1988 | Langue de dépôt | JA | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO9005994 | Date: | 31.05.1990 | Langue: | EN | [1990/12] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP0406434 | Date: | 09.01.1991 | Langue: | EN | La demande publiée par l'OMPI le 31.05.1990, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen. | [1991/02] | Type: | B1 Fascicule de brevet | N°: | EP0406434 | Date: | 17.07.1996 | Langue: | EN | [1996/29] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | JP | 31.05.1990 | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 28.03.1991 | Classification | IPC: | H01L21/302 | [1991/02] | CPC: |
H01L21/31116 (EP,US);
H01L21/302 (KR);
H01L21/32137 (EP,US)
| Etats contractants désignés | DE, FR, GB, IT [1991/02] | Titre | Allemand: | TROCKENÄTZVERFAHREN | [1991/02] | Anglais: | DRY-ETCHING METHOD | [1991/02] | Français: | PROCEDE DE GRAVURE PAR LA VOIE SECHE | [1991/02] | Entrée dans la phase régionale | 17.07.1990 | Traduction produite | 27.07.1990 | Taxe nationale de base payée | 27.07.1990 | Taxe de recherche payée | 27.07.1990 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 27.07.1990 | Taxe d'examen payée | Procédure d'examen | 27.07.1990 | Requête en examen déposée [1991/02] | 05.07.1993 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} | 26.11.1993 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06) | 03.06.1994 | Réponse à une notification de la division dexamen | 14.10.1994 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06) | 24.04.1995 | Réponse à une notification de la division dexamen | 04.10.1995 | Envoi de la notification relative à l'intention de délivrer le brevet (Accord : Oui) | 18.01.1996 | Notification relative à l'intention de délivrer le brevet | 10.04.1996 | Taxe de délivrance payée | 10.04.1996 | Taxe publication/d‘impression payée | Opposition(s) | 18.04.1997 | Aucune opposition formée dans le délai imparti [1997/28] | Requête en restitutio in integrum: | 03.09.1993 | Date de la requête | 05.10.1993 | Requête accordée | Taxes payées | Taxe annuelle | 30.10.1991 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 03.09.1993 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 08.11.1993 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 15.11.1994 | Taxe annuelle Année du brevet 06 | 09.11.1995 | Taxe annuelle Année du brevet 07 | Surtaxe | Surtaxe concernant la taxe annuelle | 30.11.1992 | 04 M06 Taxe payée le 03.09.1993 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [X]EP0001538 (IBM [US]); | [X]US4615764 (BOBBIO STEPHEN M [US], et al); | [X]EP0174249 (FUJITSU LTD [JP]); | [X]EP0106174 (HITACHI LTD [JP]) | [X] - IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN, vol. 20, no. 2, July 1977, page 757, New York, US; J.W. COBURN: "Increasing the selectivity of the plasma etch rate of SiO2 relative to Si" | Recherche internationale | [X]JPH05675573 ; | [Y]JPH05621330 ; | [Y]JPS61123142 (MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD); | [Y]JPS57139927 (NIPPON ELECTRIC CO); | [Y]JPS61266584 (TOKUDA SEISAKUSHO); | [Y]JPS58150429 (HITACHI LTD) |