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EP0398366
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP0398366
| EP0398366 - Appareil de manipulation de semi-conducteur et méthode [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | Aucune opposition formée dans le délai Statut actualisé le 22.07.1995 Base de données mise à jour au 17.09.2024 | Dernier événement Tooltip | 30.11.2007 | Extinction du brevet dans un Etat contractant État(s) actualisé(s): FR | publié le 02.01.2008 [2008/01] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | [N/P] |
| Précédent [1990/47] | Pour tous les Etats désignés APPLIED MATERIALS, INC. 3050 Bowers Avenue Santa Clara California 95054-3299 / US | Inventeur(s) | 01 /
Severns, David W. 1168 Tangerine Way Sunnyvale, California 94087 / US | 02 /
Tompson, Brian 4710 Del Loma Court Campell, California 95008 / US | 03 /
Lindstrom, Paul R. 120 Hawks Peak Road Aptos, California 95003 / US | 04 /
Carlson, David K. 2308 Dundee Drive Santa Clara, California 95051 / US | [1990/47] | Mandataire(s) | Diehl, Hermann O. Th., et al Diehl & Partner GbR Postfach 34 01 15 80098 München / DE | [N/P] |
| Précédent [1990/47] | Diehl, Hermann O. Th., Dr., et al Diehl, Glaeser, Hiltl & Partner Patentanwälte Postfach 19 03 65 D-80603 München / DE | Numéro de la demande, date de dépôt | 90109478.9 | 18.05.1990 | [1990/47] | Numéro de priorité, date | US19890354161 | 19.05.1989 Format original publié: US 354161 | [1990/47] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A2 Demande sans rapport de recherche | N°: | EP0398366 | Date: | 22.11.1990 | Langue: | EN | [1990/47] | Type: | A3 Rapport de recherche | N°: | EP0398366 | Date: | 12.06.1991 | Langue: | EN | [1991/24] | Type: | B1 Fascicule de brevet | N°: | EP0398366 | Date: | 21.09.1994 | Langue: | EN | [1994/38] | Rapport(s) de recherche | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 22.04.1991 | Classification | IPC: | C23C16/44, H01L21/00 | [1991/22] | CPC: |
H01L21/68764 (EP,US);
C23C16/54 (EP,KR,US);
C23C16/4401 (EP,US);
C30B25/02 (EP,US);
C30B35/005 (EP,US);
H01L21/68707 (EP,US);
H01L21/68771 (EP,US)
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| Précédent IPC [1990/47] | H01L21/00 | Etats contractants désignés | BE, DE, ES, FR, GB, IT, NL [1990/47] | Titre | Allemand: | Halbleiterbehandlungsvorrichtung und Verfahren | [1990/47] | Anglais: | Semiconductor processing apparatus and method | [1990/47] | Français: | Appareil de manipulation de semi-conducteur et méthode | [1990/47] | Procédure d'examen | 02.08.1991 | Requête en examen déposée [1991/40] | 12.10.1992 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06) | 06.04.1993 | Réponse à une notification de la division dexamen | 27.10.1993 | Envoi de la notification relative à l'intention de délivrer le brevet (Accord : Non) | 03.01.1994 | Envoi de la notification relative à l'intention de délivrer le brevet (Accord : accor postérieur) | 15.03.1994 | Notification relative à l'intention de délivrer le brevet | 10.06.1994 | Taxe de délivrance payée | 10.06.1994 | Taxe publication/d‘impression payée | Opposition(s) | 22.06.1995 | Aucune opposition formée dans le délai imparti [1995/37] | Taxes payées | Taxe annuelle | 27.03.1992 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 28.05.1993 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 30.05.1994 | Taxe annuelle Année du brevet 05 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Extinctions durant la phase d’opposition Tooltip | BE | 21.09.1994 | ES | 21.09.1994 | FR | 21.09.1994 | IT | 21.09.1994 | NL | 21.09.1994 | [2006/14] |
| Précédent [2002/24] | BE | 21.09.1994 | |
| ES | 21.09.1994 | ||
| IT | 21.09.1994 | ||
| NL | 21.09.1994 | ||
| FR | 17.02.1995 | ||
| Précédent [1999/42] | BE | 21.09.1994 | |
| IT | 21.09.1994 | ||
| NL | 21.09.1994 | ||
| FR | 17.02.1995 | ||
| Précédent [1995/35] | BE | 21.09.1994 | |
| NL | 21.09.1994 | ||
| FR | 17.02.1995 | ||
| Précédent [1995/34] | BE | 21.09.1994 | |
| FR | 17.02.1995 | ||
| Précédent [1995/27] | BE | 21.09.1994 | Citations: | Recherche | [X]FR2590879 (AMERICAN TELEPHONE & TELEGRAPH [US]) |