EP0465515 - PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER DES PROCESSUS D'USINAGE ASSISTES PAR VOIE IONIQUE SUR DES TRANCHES [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | Aucune opposition formée dans le délai Statut actualisé le 20.06.1997 Base de données mise à jour au 29.10.2024 | Dernier événement Tooltip | 20.06.1997 | Aucune opposition formée dans le délai | publié le 06.08.1997 [1997/32] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Leonrodstrasse 54 80636 München / DE | [N/P] |
Précédent [1992/03] | Pour tous les Etats désignés FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. Leonrodstrasse 54 D-80636 München / DE | Inventeur(s) | 01 /
HEINRICH, Friedhelm Rheingaustr. 25 D-1000 Berlin 41 / DE | [1992/03] | Mandataire(s) | Münich, Wilhelm, et al Dr. Münich & Kollegen Anwaltskanzlei Wilhelm-Mayr-Strasse 11 80689 München / DE | [N/P] |
Précédent [1994/08] | Münich, Wilhelm, Dr., et al Kanzlei Münich, Steinmann, Schiller Wilhelm-Mayr-Str. 11 D-80689 München / DE | ||
Précédent [1992/03] | Münich, Wilhelm, Dr. Kanzlei Münich, Steinmann, Schiller Wilhelm-Mayr-Str. 11 D-80689 München / DE | Numéro de la demande, date de dépôt | 90905183.1 | 31.03.1990 | [1992/03] | WO1990DE00255 | Numéro de priorité, date | DE19893910491 | 31.03.1989 Format original publié: DE 3910491 | [1992/03] | Langue de dépôt | DE | Langue de la procédure | DE | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO9012415 | Date: | 18.10.1990 | Langue: | DE | [1990/24] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP0465515 | Date: | 15.01.1992 | Langue: | DE | La demande publiée par l'OMPI le 18.10.1990, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen. | [1992/03] | Type: | B1 Fascicule de brevet | N°: | EP0465515 | Date: | 14.08.1996 | Langue: | DE | [1996/33] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | EP | 18.10.1990 | Classification | IPC: | H01J37/32, H01J37/304, G01N21/62, H01J37/305 | [1992/03] | CPC: |
H01J37/32935 (EP,US)
| Etats contractants désignés | AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LI, LU, NL, SE [1992/09] |
Précédent [1992/03] | AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, IT, LI, LU, NL, SE | Titre | Allemand: | VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG VON IONEN-UNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNGSVORGÄNGEN AN WAFERN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS | [1992/03] | Anglais: | PROCESS AND DEVICE FOR MONITORING ION ASSISTED MACHINING PROCESSES ON WAFERS | [1996/33] | Français: | PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER DES PROCESSUS D'USINAGE ASSISTES PAR VOIE IONIQUE SUR DES TRANCHES | [1992/03] |
Précédent [1992/03] | PROCESS AND DEVICE FOR MONITORING ASSISTED ION MACHINING PROCESSES ON WAFERS | Entrée dans la phase régionale | 11.09.1991 | Taxe nationale de base payée | 11.09.1991 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 11.09.1991 | Taxe d'examen payée | Procédure d'examen | 01.06.1990 | Perte de droit, date d'effet juridique: Etat(s) désigné(s) | 03.08.1990 | Requête en examen préliminaire déposée Administration chargée de l'examen préliminaire international: DE | 11.09.1991 | Requête en examen déposée [1992/03] | 01.04.1992 | Envoi de la notification relative à une perte de droit : Etat(s) désigné(s) DK | 01.04.1992 | Envoi de la notification relative à une perte de droit : Etat(s) désigné(s) ES | 01.06.1992 | Perte de droit, date d'effet juridique: Etat(s) désigné(s) | 29.12.1993 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 03.05.1994 | Réponse à une notification de la division dexamen | 14.06.1994 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06) | 30.01.1995 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} | 08.03.1995 | Réponse à une notification de la division dexamen | 25.04.1995 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M02) | 20.05.1995 | Réponse à une notification de la division dexamen | 29.06.1995 | Envoi de la notification relative à l'intention de délivrer le brevet (Accord : Oui) | 13.10.1995 | Notification relative à l'intention de délivrer le brevet | 27.11.1995 | Taxe de délivrance payée | 27.11.1995 | Taxe publication/d‘impression payée | Opposition(s) | 15.05.1997 | Aucune opposition formée dans le délai imparti [1997/32] | Requête en poursuite de la procédure de: | 08.03.1995 | Requête en poursuite de la procédure déposée | 08.03.1995 | Taxe intégralement payée (date de paiement) Requête accordée | 28.03.1995 | Décision envoyée | Taxes payées | Taxe annuelle | 31.03.1992 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 31.03.1993 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 31.03.1994 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 31.03.1995 | Taxe annuelle Année du brevet 06 | 26.03.1996 | Taxe annuelle Année du brevet 07 | Surtaxe | Surtaxe règle 85bis: taxe nationale de base CBE 1973 | 10.01.1992 | DK   M01   Pas encore payé | 10.01.1992 | ES   M01   Pas encore payé |
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Extinctions durant la phase d’opposition Tooltip | SE | 14.11.1996 | [1997/18] | Cité dans | Recherche internationale | [XP] - APPLIED PHYSICS LETTERS. vol. 55, no. 14, 02 Oktober 1989, NEW YORK US Seiten 1474 - 1476; Heinrich et al.: "New and simple optical method for in-situ etch rate determination and endpoint detection" siehe das ganze Dokument | [Y] - REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. vol. 51, no. 11, November 1980, NEW YORK US Seiten 1451 - 1462; Burrell et al.: "Doppler shift spectroscopy of powerful neutral beams" siehe Zusammenfassung siehe Seite 1453, linke Spalte, Absatz 2-Ende rechter Spalte | [Y] - JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. vol. 53, no. 6, Juni 1982, NEW YORK US Seiten 4389 - 4394; Dzioba et al.: "Optical spectroscopy during reactive ion beam etching of Si and Al targets" siehe Seiten 4389 - 4390 | [A] - JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY: PART B. vol. 3, no. 5, September 1985, NEW YORK US Seiten 1543 - 1545; Husinsky et al.: "Doppler shift laser fluorescence spectroscopy of sputtered and evaporatedatoms under Ar+ bombardment" siehe das ganze Dokument |