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EP0465515

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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP0465515

EP0465515 - PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER DES PROCESSUS D'USINAGE ASSISTES PAR VOIE IONIQUE SUR DES TRANCHES [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
Statut	Aucune opposition formée dans le délai Statut actualisé le 20.06.1997 Base de données mise à jour au 29.10.2024
Dernier événement Tooltip	20.06.1997	Aucune opposition formée dans le délai	publié le 06.08.1997 [1997/32]
Demandeur(s)	Pour tous les Etats désignés Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Leonrodstrasse 54 80636 München / DE
	[N/P]
Précédent [1992/03]	Pour tous les Etats désignés FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. Leonrodstrasse 54 D-80636 München / DE
Inventeur(s)	01 / HEINRICH, Friedhelm Rheingaustr. 25 D-1000 Berlin 41 / DE
	[1992/03]
Mandataire(s)	Münich, Wilhelm, et al Dr. Münich & Kollegen Anwaltskanzlei Wilhelm-Mayr-Strasse 11 80689 München / DE
	[N/P]
Précédent [1994/08]	Münich, Wilhelm, Dr., et al Kanzlei Münich, Steinmann, Schiller Wilhelm-Mayr-Str. 11 D-80689 München / DE
Précédent [1992/03]	Münich, Wilhelm, Dr. Kanzlei Münich, Steinmann, Schiller Wilhelm-Mayr-Str. 11 D-80689 München / DE
Numéro de la demande, date de dépôt	90905183.1	31.03.1990
	[1992/03]
	WO1990DE00255
Numéro de priorité, date	DE19893910491	31.03.1989 Format original publié: DE 3910491
	[1992/03]
Langue de dépôt	DE
Langue de la procédure	DE
Publication	Type:	A1 Demande avec rapport de recherche
	N°:	WO9012415
	Date:	18.10.1990
	Langue:	DE
	[1990/24]
	Type:	A1 Demande avec rapport de recherche
	N°:	EP0465515
	Date:	15.01.1992
	Langue:	DE
	La demande publiée par l'OMPI le 18.10.1990, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen.
	[1992/03]
	Type:	B1 Fascicule de brevet
	N°:	EP0465515
	Date:	14.08.1996
	Langue:	DE
	[1996/33]
Rapport(s) de recherche	Rapport de recherche internationale - publié le:	EP	18.10.1990
Classification	IPC:	H01J37/32, H01J37/304, G01N21/62, H01J37/305	[1992/03]
	CPC:	H01J37/32935 (EP,US)
Etats contractants désignés	AT, BE, CH, DE, FR, GB, IT, LI, LU, NL, SE [1992/09]
Précédent [1992/03]	AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, IT, LI, LU, NL, SE
Titre	Allemand:	VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG VON IONEN-UNTERSTÜTZTEN BEARBEITUNGSVORGÄNGEN AN WAFERN UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS	[1992/03]
	Anglais:	PROCESS AND DEVICE FOR MONITORING ION ASSISTED MACHINING PROCESSES ON WAFERS	[1996/33]
	Français:	PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER DES PROCESSUS D'USINAGE ASSISTES PAR VOIE IONIQUE SUR DES TRANCHES	[1992/03]
	Précédent [1992/03]	PROCESS AND DEVICE FOR MONITORING ASSISTED ION MACHINING PROCESSES ON WAFERS
Entrée dans la phase régionale	11.09.1991	Taxe nationale de base payée
	11.09.1991	Taxe(s) de désignation payée(s)
	11.09.1991	Taxe d'examen payée
Procédure d'examen	01.06.1990	Perte de droit, date d'effet juridique: Etat(s) désigné(s)
	03.08.1990	Requête en examen préliminaire déposée Administration chargée de l'examen préliminaire international: DE
	11.09.1991	Requête en examen déposée [1992/03]
	01.04.1992	Envoi de la notification relative à une perte de droit : Etat(s) désigné(s) DK
	01.04.1992	Envoi de la notification relative à une perte de droit : Etat(s) désigné(s) ES
	01.06.1992	Perte de droit, date d'effet juridique: Etat(s) désigné(s)
	29.12.1993	Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04)
	03.05.1994	Réponse à une notification de la division dexamen
	14.06.1994	Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06)
	30.01.1995	Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0}
	08.03.1995	Réponse à une notification de la division dexamen
	25.04.1995	Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M02)
	20.05.1995	Réponse à une notification de la division dexamen
	29.06.1995	Envoi de la notification relative à l'intention de délivrer le brevet (Accord : Oui)
	13.10.1995	Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
	27.11.1995	Taxe de délivrance payée
	27.11.1995	Taxe publication/d‘impression payée
Opposition(s)	15.05.1997	Aucune opposition formée dans le délai imparti [1997/32]
Requête en poursuite de la procédure de:	08.03.1995	Requête en poursuite de la procédure déposée
	08.03.1995	Taxe intégralement payée (date de paiement) Requête accordée
	28.03.1995	Décision envoyée
Taxes payées	Taxe annuelle
	31.03.1992	Taxe annuelle Année du brevet 03
	31.03.1993	Taxe annuelle Année du brevet 04
	31.03.1994	Taxe annuelle Année du brevet 05
	31.03.1995	Taxe annuelle Année du brevet 06
	26.03.1996	Taxe annuelle Année du brevet 07
	Surtaxe
	Surtaxe règle 85bis: taxe nationale de base CBE 1973
	10.01.1992	DK M01 Pas encore payé
	10.01.1992	ES M01 Pas encore payé
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet	Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
	La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition Tooltip	SE	14.11.1996
	[1997/18]
Cité dans	Recherche internationale	[XP] - APPLIED PHYSICS LETTERS. vol. 55, no. 14, 02 Oktober 1989, NEW YORK US Seiten 1474 - 1476; Heinrich et al.: "New and simple optical method for in-situ etch rate determination and endpoint detection" siehe das ganze Dokument
		[Y] - REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. vol. 51, no. 11, November 1980, NEW YORK US Seiten 1451 - 1462; Burrell et al.: "Doppler shift spectroscopy of powerful neutral beams" siehe Zusammenfassung siehe Seite 1453, linke Spalte, Absatz 2-Ende rechter Spalte
		[Y] - JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. vol. 53, no. 6, Juni 1982, NEW YORK US Seiten 4389 - 4394; Dzioba et al.: "Optical spectroscopy during reactive ion beam etching of Si and Al targets" siehe Seiten 4389 - 4390
		[A] - JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY: PART B. vol. 3, no. 5, September 1985, NEW YORK US Seiten 1543 - 1545; Husinsky et al.: "Doppler shift laser fluorescence spectroscopy of sputtered and evaporatedatoms under Ar+ bombardment" siehe das ganze Dokument

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