EP0599276 - Procédé pour enlever les particules de la surface d'un substrat [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La demande est réputée retirée Statut actualisé le 17.10.1997 Base de données mise à jour au 18.11.2024 | Dernier événement Tooltip | 17.10.1997 | Demande réputée retirée | publié le 03.12.1997 [1997/49] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | [N/P] |
Précédent [1994/22] | Pour tous les Etats désignés APPLIED MATERIALS, INC. 3050 Bowers Avenue Santa Clara California 95054-3299 / US | Inventeur(s) | 01 /
Gupta, Anand 1270 Briarcreek Ct. San Jose, CA 95131 / US | [1994/22] | Mandataire(s) | Diehl, Hermann O. Th., et al Diehl & Partner GbR Augustenstrasse 46 80333 München / DE | [N/P] |
Précédent [1994/22] | Diehl, Hermann, Dr. Dipl.-Phys., et al DIEHL, GLÄSER, HILTL & PARTNER Patentanwälte Flüggenstrasse 13 D-80639 München / DE | Numéro de la demande, date de dépôt | 93118840.3 | 23.11.1993 | [1994/22] | Numéro de priorité, date | US19920980828 | 24.11.1992 Format original publié: US 980828 | [1994/22] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A2 Demande sans rapport de recherche | N°: | EP0599276 | Date: | 01.06.1994 | Langue: | EN | [1994/22] | Type: | A3 Rapport de recherche | N°: | EP0599276 | Date: | 22.06.1994 | Langue: | EN | [1994/25] | Rapport(s) de recherche | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 06.05.1994 | Classification | IPC: | H01L21/306, H01L21/00 | [1994/22] | CPC: |
H01L21/02046 (EP,US);
H01L21/304 (KR);
Y10S438/906 (EP,US)
| Etats contractants désignés | BE, DE, ES, FR, GB, NL [1994/22] | Titre | Allemand: | Verfahren zum Enfernen von Teilchen von einer Substratoberfläche | [1994/22] | Anglais: | Method of removing particles from the surface of a substrate | [1994/22] | Français: | Procédé pour enlever les particules de la surface d'un substrat | [1994/22] | Procédure dexamen | 19.09.1994 | Requête en examen déposée [1994/46] | 24.10.1994 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06) | 11.04.1995 | Réponse à une notification de la division dexamen | 10.10.1995 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 14.02.1996 | Réponse à une notification de la division dexamen | 01.03.1996 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 05.07.1996 | Réponse à une notification de la division dexamen | 03.06.1997 | La demande est réputée retirée, date d'effet juridique [1997/49] | 07.07.1997 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} [1997/49] | Taxes payées | Taxe annuelle | 29.11.1995 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | Surtaxe | Surtaxe concernant la taxe annuelle | 30.11.1996 | 04   M06   Pas encore payé |
Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [E]EP0574859 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [E] 1-3,5-7 * the whole document *; | [A]EP0291786 (IBM [US]) [A] 1-3,5-7 * page 8, line 16 - page 9, line 34 *; | [A]JPS60154621 ; | [A]JPH04228573 | [A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19851217), vol. 9, no. 321, Database accession no. (E - 367), & JP60154621 A 19850814 (HITACHI SEISAKUSHO) [A] 1-7 * abstract * | [A] - ANONYMOUS, "Pump/purge procedure using neon feedstock", IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN., NEW YORK US, (199204), vol. 34, no. 11, pages 237 - 238 [A] 4 * the whole document * | [A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19921221), vol. 16, no. 581, Database accession no. (C - 1012), & JP04228573 A 19920818 (MATSUSHITA ELECTRIC) [A] 1-7 * abstract * |