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EP0818560
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP0818560
| EP0818560 - Fabrication d'un film sur une tranche semi-conductrice [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La demande a été rejetée Statut actualisé le 05.06.2009 Base de données mise à jour au 20.09.2024 | Dernier événement Tooltip | 05.06.2009 | Rejet de la demande | publié le 08.07.2009 [2009/28] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | [N/P] |
| Précédent [1998/03] | Pour tous les Etats désignés APPLIED MATERIALS, INC. 3050 Bowers Avenue, M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | Inventeur(s) | 01 /
Chern, Chyl 20110 Knollwood Drive Saratoga California 95070 / US | 02 /
Danek, Michal 1538 Blackhawk Drive Sunnyvale California 94087 / US | 03 /
Liao, Marvin 85 Jalan Woodbridge 799018 Singapore / KR | 04 /
Mosely, Roderick C. 4337 Diavila Avenue Pleasanton California 94588 / US | 05 /
Littau, Karl 3278 Bryant Street Palo Alto California 94303 / US | 06 /
Raaijmakers, Ivo 2741 East Bighorn Avenue Phoenix Arizona 85048 / US | 07 /
Smith, David C. 3452 Wheeling Drive Santa Clara California 95051 / US | [1998/03] | Mandataire(s) | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | [N/P] |
| Précédent [1998/03] | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT, 27 Furnival Street London EC4A 1PQ / GB | Numéro de la demande, date de dépôt | 97305021.4 | 09.07.1997 | [1998/03] | Numéro de priorité, date | US19960677218 | 09.07.1996 Format original publié: US 677218 | US19960677185 | 09.07.1996 Format original publié: US 677185 | US19960680913 | 12.07.1996 Format original publié: US 680913 | US19970810221 | 28.02.1997 Format original publié: US 810221 | [1998/03] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A2 Demande sans rapport de recherche | N°: | EP0818560 | Date: | 14.01.1998 | Langue: | EN | [1998/03] | Type: | A3 Rapport de recherche | N°: | EP0818560 | Date: | 03.01.2001 | [2001/01] | Rapport(s) de recherche | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 15.11.2000 | Classification | IPC: | C23C16/56, C23C16/34, C23C16/52, H01L21/318, H01L21/324 | [1998/03] | CPC: |
H01L21/76864 (EP,US);
C23C16/34 (EP,US);
C23C16/45565 (EP,US);
C23C16/4581 (EP,US);
C23C16/4586 (EP,US);
C23C16/481 (EP,US);
C23C16/5096 (EP,US);
C23C16/56 (EP,US);
H01J37/32174 (EP,US);
H01L21/28512 (EP,US);
H01L21/76843 (EP,US);
H01L21/76856 (EP,US);
| Etats contractants désignés | DE, GB [2001/38] |
| Précédent [1998/03] | AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE | Titre | Allemand: | Herstellung eines Films auf einem Halbleiterscheibchen | [1998/03] | Anglais: | Construction of a film on a semiconductor wafer | [1998/03] | Français: | Fabrication d'un film sur une tranche semi-conductrice | [1998/03] | Procédure d'examen | 02.07.2001 | Requête en examen déposée [2001/35] | 03.02.2006 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 13.06.2006 | Réponse à une notification de la division dexamen | 11.09.2006 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 22.01.2007 | Réponse à une notification de la division dexamen | 22.01.2009 | Demande rejetée, date d'effet juridique [2009/28] | 22.01.2009 | Date des procédures orales | 18.02.2009 | Envoi de la notification signalant le rejet de la demande, motif: examen quant au font [2009/28] | 18.02.2009 | Procès-verbal des procédures orales envoyé | Taxes payées | Taxe annuelle | 01.06.1999 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 07.08.2000 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 25.05.2001 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 01.07.2002 | Taxe annuelle Année du brevet 06 | 04.07.2003 | Taxe annuelle Année du brevet 07 | 09.07.2004 | Taxe annuelle Année du brevet 08 | 08.07.2005 | Taxe annuelle Année du brevet 09 | 10.07.2006 | Taxe annuelle Année du brevet 10 | 04.07.2007 | Taxe annuelle Année du brevet 11 | 10.07.2008 | Taxe annuelle Année du brevet 12 | Surtaxe | Surtaxe concernant la taxe annuelle | 01.08.2000 | 04 M06 Taxe payée le 07.08.2000 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [XA]JPH06120152 ; | [XA]EP0711846 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [X] 13-15 * page 6, line 23 - line 41; claims 1-9 * [A] 1-12,16-63; | [A]EP0477990 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [A] 1-12,36-45,55,56 * column 1, line 42 - column 2, line 2 * * column 5, line 3 - column 6, line 6 *; | [PX]GB2299345 (HYUNDAI ELECTRONICS IND [KR]) [PX] 1,12 * page 2, line 21 - page 3, line 23 *; | [A]DE4342047 (SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD [KR]) [A] 21-35,46-54,60-63 * claims 1-5,9-11 *; | [A]US5232871 (HO HUEI-MIN [US]) [A] 13-20,57-59 * column 7, line 28 - column 8, line 40; claims 1-8 * | [XA] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19940727), vol. 018, no. 403, Database accession no. (E - 1584), & JP06120152 A 19940428 (NIPPONDENSO CO LTD) [X] 1 * abstract * [A] 36,40,55 |