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EP0841683
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP0841683
| EP0841683 - Ecran actif de génération d'un plasma pour la pulvérisation [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | La demande est réputée retirée Statut actualisé le 29.08.2003 Base de données mise à jour au 14.09.2024 | Dernier événement Tooltip | 29.08.2003 | Demande réputée retirée | publié le 15.10.2003 [2003/42] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | [N/P] |
| Précédent [1998/20] | Pour tous les Etats désignés APPLIED MATERIALS, INC. 3050 Bowers Avenue, M/S 2061 Santa Clara, California 95054-3299 / US | Inventeur(s) | 01 /
Forster, John C. 41 Hallam San Francisco, California 94103 / US | 02 /
Stimson, Bradley O. 1257 Hanchett Avenue San Jose, California 95126 / US | 03 /
Xu, Zheng 279 Hudson Bay Street Foster City, California 94404 / US | [1998/20] | Mandataire(s) | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | [N/P] |
| Précédent [1998/20] | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT, 27 Furnival Street London EC4A 1PQ / GB | Numéro de la demande, date de dépôt | 97307895.9 | 06.10.1997 | [1998/20] | Numéro de priorité, date | US19960730722 | 08.10.1996 Format original publié: US 730722 | US19970856421 | 14.05.1997 Format original publié: US 856421 | [1998/20] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A2 Demande sans rapport de recherche | N°: | EP0841683 | Date: | 13.05.1998 | Langue: | EN | [1998/20] | Type: | A3 Rapport de recherche | N°: | EP0841683 | Date: | 01.12.1999 | [1999/48] | Rapport(s) de recherche | Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le: | EP | 13.10.1999 | Classification | IPC: | H01J37/34, H01J37/32, H05H1/00 | [1999/48] | CPC: |
C23C14/35 (KR);
H01J37/321 (EP,KR);
H01J37/3408 (EP,KR);
H01J37/3411 (KR);
H01J37/3441 (EP,KR);
H01J2237/3327 (KR)
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| Précédent IPC [1998/20] | H01J37/34, H01J37/32 | Etats contractants désignés | BE, DE, GB, NL [2000/32] |
| Précédent [1998/20] | AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LI, LU, MC, NL, PT, SE | Titre | Allemand: | Aktive Abschirmung zur Erzeugung eines Plasmas für die Zerstäubung | [1998/20] | Anglais: | Active shield for generating a plasma for sputtering | [1998/20] | Français: | Ecran actif de génération d'un plasma pour la pulvérisation | [1998/20] | Procédure dexamen | 16.03.2000 | Requête en examen déposée [2000/20] | 03.06.2000 | Perte de droit, date d'effet juridique: Etat(s) désigné(s) | 05.09.2000 | Envoi de la notification relative à une perte de droit : Etat(s) désigné(s) CH, FR, IE, IT, LI | 28.11.2002 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M04) | 09.04.2003 | La demande est réputée retirée, date d'effet juridique [2003/42] | 14.05.2003 | Envoi dune notification signalant que la demande est réputée retirée, motif: {0} [2003/42] | Taxes payées | Taxe annuelle | 30.07.1999 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 14.08.2000 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 03.08.2001 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | Surtaxe | Surtaxe règle 85bis: taxe nationale de base CBE 1973 | 29.06.2000 | CH M01 Pas encore payé | 29.06.2000 | FR M01 Pas encore payé | 29.06.2000 | IE M01 Pas encore payé | 29.06.2000 | IT M01 Pas encore payé | Surtaxe concernant la taxe annuelle | 31.10.2002 | 06 M06 Pas encore payé |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Citations: | Recherche | [PX]EP0782172 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [PX] 1,2,4-11 * column 6, line 6 - column 8, line 27; figure - *; | [A]US5540800 (QIAN XUEYU [US]) [A] 1,2,5 * column 3, line 45 - line 65; figure 2 *; | [A]WO9613051 (MATERIALS RESEARCH CORP [US]) [A] 1,2,5 * page 13, line 9 - page 14, line 11; figure 3 *; | [A]EP0593924 (LEYBOLD AG [DE]) [A] 1,2,5 * the whole document *; | [X]US5471115 (HIKOSAKA YUKINOBU [JP]) [X] 31 * column 3, line 49 - column 5, line 23; figures 4,12 *; | [X]JPH06244151 ; | [PX]US5665167 (DEGUCHI YOICHI [JP], et al) [PX] 31 * column 11, line 52 - column 13, line 60; figures 8-10 *; | [A]JPS58171822 | [X] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19941129), vol. 018, no. 626, Database accession no. (E - 1636), & JP06244151 A 19940902 (TOKYO ELECTRON LTD) [X] 31 * abstract * | [A] - PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, (19840113), vol. 008, no. 008, Database accession no. (E - 221), & JP58171822 A 19831008 (MATSUSHITA DENKI SANGYO KK) [A] 31 * abstract * |