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Extrait du Registre européen des brevets

EP Présentation générale: EP1044074

EP1044074 - COMMANDE DE PROCESSUS D'APPLICATION DE PHOTORESIST A DETECTEUR DE VAPEUR DE SOLVANT [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets]
StatutAucune opposition formée dans le délai
Statut actualisé le  25.04.2008
Base de données mise à jour au 20.09.2024
Dernier événement   Tooltip08.01.2010Extinction du brevet dans un Etat contractant
Nouvel/nouveaux État(s): CY, LU		publié le 10.02.2010  [2010/06]
Demandeur(s)Pour tous les Etats désignés
ASML Holding N.V.
De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
[N/P]
Précédent [2007/27]Pour tous les Etats désignés
ASML Holding N.V.
De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
Précédent [2007/19]Pour tous les Etats désignés
ASML Holding N.V.
De Run 1110
5503 LA Veldhoven / NL
Précédent [2007/18]Pour tous les Etats désignés
ASML US, Inc.
8555 South River Parkway
Tempe AZ 85284 / US
Précédent [2000/42]Pour tous les Etats désignés
Silicon Valley Group, Inc.
2240 Ringwood Avenue
San Jose, CA 95110 / US
Inventeur(s)01 / Gurer, Emir
709 Coast Range Drive
Scotts Valley, CA 95066 / US
02 / Litvak, Herbert
790 Lodgewood Court
San Jose, CA 95120 / US
03 / Savage, Richard
5 Fox Sparrow Court
Scotts Valley, CA 95066 / US
[2000/42]
Mandataire(s)McGowan, Cathrine
D Young & Co LLP
120 Holborn
London EC1N 2DY / GB
[N/P]
Précédent [2004/40]McGowan, Cathrine
D Young & Co, 21 New Fetter Lane
London EC4A 1DA / GB
Précédent [2000/42]Potter, Julian Mark, et al
D. Young & Co., 21 New Fetter Lane
London EC4A 1DA / GB
Numéro de la demande, date de dépôt98967092.208.12.1998
[2000/42]
WO1998US26143
Numéro de priorité, dateUS1997098717908.12.1997         Format original publié: US 987179
[2000/42]
Langue de dépôtEN
Langue de la procédureEN
PublicationType: A1 Demande avec rapport de recherche
N°:WO9929439
Date:17.06.1999
Langue:EN
[1999/24]
Type: A1 Demande avec rapport de recherche 
N°:EP1044074
Date:18.10.2000
Langue:EN
La demande publiée par l'OMPI le 17.06.1999, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen.
[2000/42]
Type: B1 Fascicule de brevet 
N°:EP1044074
Date:20.06.2007
Langue:EN
[2007/25]
Type: B8 Page de titre du fascicule corrigée 
N°:EP1044074
Date:08.08.2007
[2007/32]
Rapport(s) de rechercheRapport de recherche internationale - publié le:US17.06.1999
Rapport (complémentaire) de recherche européenne - envoyé le:EP12.01.2006
ClassificationIPC:B05D3/12, B05D3/02, B05D3/10, H01L21/469, B05C11/00, B05C11/02, C23C16/00
[2000/42]
CPC:
B05D1/005 (EP,KR,US); B05C11/08 (EP,KR,US); B05D3/0486 (EP,KR,US);
G03F7/162 (EP,KR,US)
Etats contractants désignésAT,   BE,   CH,   CY,   DE,   DK,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   IE,   IT,   LI,   LU,   MC,   NL,   PT,   SE [2000/42]
TitreAllemand:VERFAHRENSREGELUNG FÜR PHOTORESISTENTE BESCHICHTUNG MIT SOLVENTDAMPFSENSOR[2007/25]
Anglais:PHOTORESIST COATING PROCESS CONTROL WITH SOLVENT VAPOR SENSOR[2007/25]
Français:COMMANDE DE PROCESSUS D'APPLICATION DE PHOTORESIST A DETECTEUR DE VAPEUR DE SOLVANT[2000/42]
Précédent [2000/42]VERFAHRENSREGELUNG FÜR PHOTORESISTENTE BESCHICHTUNG MITSOLVENTDAMPFSENSOR
Précédent [2000/42]PHOTORESIST COATING PROCESS CONTROL WITH SOLENT VAPOR SENSOR
Entrée dans la phase régionale03.07.2000Taxe nationale de base payée 
03.07.2000Taxe de recherche payée 
03.07.2000Taxe(s) de désignation payée(s) 
03.07.2000Taxe d'examen payée 
Procédure d'examen07.07.1999Requête en examen préliminaire déposée
Administration chargée de l'examen préliminaire international: US
03.07.2000Modification par le demandeur (revendications et/ou déscription)
03.07.2000Requête en examen déposée  [2000/42]
22.06.2006Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M02)
18.08.2006Réponse à une notification de la division dexamen
03.01.2007Notification relative à l'intention de délivrer le brevet
16.04.2007Taxe de délivrance payée
16.04.2007Taxe publication/d‘impression payée
Demande(s) divisionnaire(s)EP07007848.0  / EP1847328
Opposition(s)25.03.2008Aucune opposition formée dans le délai imparti [2008/22]
Taxes payéesTaxe annuelle
20.11.2000Taxe annuelle Année du brevet 03
31.12.2001Taxe annuelle Année du brevet 04
23.12.2002Taxe annuelle Année du brevet 05
29.12.2003Taxe annuelle Année du brevet 06
23.12.2004Taxe annuelle Année du brevet 07
27.12.2005Taxe annuelle Année du brevet 08
12.12.2006Taxe annuelle Année du brevet 09
Dérogation à la compétence  Tooltip
exclusive de la juridiction
unifiée du brevet		 Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation
La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni.
Extinctions durant la phase d’opposition  TooltipAT20.06.2007
BE20.06.2007
CH20.06.2007
CY20.06.2007
DK20.06.2007
FI20.06.2007
LI20.06.2007
SE20.09.2007
GR21.09.2007
ES01.10.2007
PT20.11.2007
LU08.12.2007
IE10.12.2007
MC31.12.2007
[2010/06]
Précédent [2009/15]AT20.06.2007
BE20.06.2007
CH20.06.2007
DK20.06.2007
FI20.06.2007
LI20.06.2007
SE20.09.2007
GR21.09.2007
ES01.10.2007
PT20.11.2007
IE10.12.2007
MC31.12.2007
Précédent [2008/48]AT20.06.2007
BE20.06.2007
CH20.06.2007
DK20.06.2007
LI20.06.2007
SE20.09.2007
GR21.09.2007
ES01.10.2007
PT20.11.2007
IE10.12.2007
MC31.12.2007
Précédent [2008/33]AT20.06.2007
BE20.06.2007
CH20.06.2007
DK20.06.2007
LI20.06.2007
SE20.09.2007
GR21.09.2007
ES01.10.2007
PT20.11.2007
MC31.12.2007
Précédent [2008/23]AT20.06.2007
BE20.06.2007
CH20.06.2007
DK20.06.2007
LI20.06.2007
SE20.09.2007
GR21.09.2007
ES01.10.2007
PT20.11.2007
Précédent [2008/21]AT20.06.2007
BE20.06.2007
CH20.06.2007
LI20.06.2007
SE20.09.2007
GR21.09.2007
ES01.10.2007
PT20.11.2007
Précédent [2008/16]AT20.06.2007
BE20.06.2007
CH20.06.2007
LI20.06.2007
SE20.09.2007
ES01.10.2007
PT20.11.2007
Citations:Recherche[A]US5095848  (IKENO MASAHIKO [JP]) [A] 1,16 * the whole document *;
 [A]GB2277892  (FUJITSU LTD [JP]) [A] 1,16* the whole document *;
 [A]US5571560  (LIN BURN J [US]) [A] 1,16 * the whole document *;
 [A]US5670210  (MANDAL ROBERT P [US], et al) [A] 1,16 * the whole document *;
 [A]EP0810478  (APPLIED MATERIALS INC [US]) [A] 1,16 * the whole document *
Recherche internationale[A]US5417100  (MILLER LEROY J [US], et al);
 [A]US5670210  (MANDAL ROBERT P [US], et al)
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