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EP1064527
Procédure d'examen
Extrait du Registre européen des brevets
EP Présentation générale: EP1064527
| EP1064527 - PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE TEMPERATURE DE SUBSTRATS [Cliquez sur ce lien avec le bouton droit de la souris pour le conserver dans vos signets] | Statut | Aucune opposition formée dans le délai Statut actualisé le 11.02.2005 Base de données mise à jour au 14.09.2024 | Dernier événement Tooltip | 21.03.2008 | Extinction du brevet dans un Etat contractant Nouvel/nouveaux État(s): IT | publié le 23.04.2008 [2008/17] | Demandeur(s) | Pour tous les Etats désignés Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 / US | [N/P] |
| Précédent [2001/01] | Pour tous les Etats désignés Applied Materials, Inc. 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 / US | Inventeur(s) | 01 /
PEUSE, Bruce, W. 27 Cobblestone Lane San Carlos, CA 94070 / US | 02 /
MINER, Gary, E. 4974 Hildasue Terrace Fremont, CA 94555 / US | 03 /
YAM, Mark 4977 Adaiz Way San Jose, CA 95124 / US | 04 /
HUNTER, Aaron 430 Emeline Avenue Santa Cruz, CA 95060 / US | 05 /
KNOOT, Peter 158 Northam Avenue San Carlos, CA 94070 / US | 06 /
MERSHON, Jason 660 Monroe Street Santa Clara, CA 94040 / US | [2001/01] | Mandataire(s) | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | [N/P] |
| Précédent [2001/01] | Bayliss, Geoffrey Cyril, et al BOULT WADE TENNANT, Verulam Gardens 70 Gray's Inn Road London WC1X 8BT / GB | Numéro de la demande, date de dépôt | 99908403.1 | 23.02.1999 | [2001/01] | WO1999US03978 | Numéro de priorité, date | US19980044217 | 18.03.1998 Format original publié: US 44217 | [2001/01] | Langue de dépôt | EN | Langue de la procédure | EN | Publication | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | WO9947901 | Date: | 23.09.1999 | Langue: | EN | [1999/38] | Type: | A1 Demande avec rapport de recherche | N°: | EP1064527 | Date: | 03.01.2001 | Langue: | EN | La demande publiée par l'OMPI le 23.09.1999, dans une des langues officielles de l'OEB, remplace la publication de la demande de brevet européen. | [2001/01] | Type: | B1 Fascicule de brevet | N°: | EP1064527 | Date: | 07.04.2004 | Langue: | EN | [2004/15] | Rapport(s) de recherche | Rapport de recherche internationale - publié le: | EP | 23.09.1999 | Classification | IPC: | G01J5/00, G01J5/04 | [2001/01] | CPC: |
G01J5/08 (EP,US);
G01J5/00 (KR);
G01J5/0003 (EP,US);
G01J5/0007 (EP,US);
G01J5/064 (EP,US);
G01J5/0815 (EP,US);
G01J5/0818 (EP,US);
G01J5/0821 (EP,US);
G01J5/0846 (EP,US);
G01J5/0887 (EP,US);
G01J5/53 (EP,US);
G01J5/80 (EP,US);
| C-Set: |
H01L2924/0002, H01L2924/00 (EP,US)
| Etats contractants désignés | DE, FR, GB, IT, NL [2001/01] | Titre | Allemand: | VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON SUBSTRATTEMPERATUREN | [2001/01] | Anglais: | METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING SUBSTRATE TEMPERATURES | [2001/01] | Français: | PROCEDE ET APPAREIL DE MESURE DE TEMPERATURE DE SUBSTRATS | [2001/01] | Entrée dans la phase régionale | 06.10.2000 | Taxe nationale de base payée | 06.10.2000 | Taxe(s) de désignation payée(s) | 06.10.2000 | Taxe d'examen payée | Procédure d'examen | 30.09.1999 | Requête en examen préliminaire déposée Administration chargée de l'examen préliminaire international: EP | 06.10.2000 | Requête en examen déposée [2001/01] | 21.11.2001 | Envoi d'une notification de la division d'examen (délai : M06) | 31.05.2002 | Réponse à une notification de la division dexamen | 01.08.2003 | Notification relative à l'intention de délivrer le brevet | 30.01.2004 | Taxe de délivrance payée | 30.01.2004 | Taxe publication/d‘impression payée | Opposition(s) | 10.01.2005 | Aucune opposition formée dans le délai imparti [2005/13] | Taxes payées | Taxe annuelle | 28.02.2001 | Taxe annuelle Année du brevet 03 | 15.02.2002 | Taxe annuelle Année du brevet 04 | 17.02.2003 | Taxe annuelle Année du brevet 05 | 04.02.2004 | Taxe annuelle Année du brevet 06 |
| Dérogation à la compétence Tooltip exclusive de la juridiction unifiée du brevet | Voir le Registre de la juridiction unifiée du brevet pour les données relatives à la dérogation | ||
| La juridiction unifiée du brevet assume l'entière responsabilité de l'exactitude, de l'exhaustivité et de la qualité des données présentées sous le lien fourni. | Extinctions durant la phase d’opposition Tooltip | FR | 07.04.2004 | IT | 07.04.2004 | [2008/17] |
| Précédent [2006/14] | FR | 07.04.2004 | Cité dans | Recherche internationale | [A]EP0718610 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [A] 1,7,12,13 * page 7, line 35 - page 8, line 6 ** claims 1,13 *; | [A]EP0805342 (APPLIED MATERIALS INC [US]) [A] 1,7,12,13 * page 3, line 38 - line 50 * * page 7, line 6 - line 22 * * figures 3,4 * |