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EP About this file: EP2423749

EP2423749 - A lithographic apparatus and device manufacturing method [Right-click to bookmark this link]
StatusNo opposition filed within time limit
Status updated on  18.07.2014
Database last updated on 15.05.2024
Most recent event   Tooltip12.10.2018Lapse of the patent in a contracting state
New state(s): AL		published on 14.11.2018  [2018/46]
Applicant(s)For all designated states
ASML Netherlands BV
Corporate IP
De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
[N/P]
Former [2012/09]For all designated states
ASML Netherlands BV
Corporate IP De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
Inventor(s)01 / Westerklaren, Jan
Vleutloop 25
5384 WZ Heesch / NL
02 / Van Der Pasch, Engelbertus
Pochelarij 2
5688 EG Oirschot / NL
03 / Steijaert, Peter
Kastelenplein 35
5653 LM Eindhoven / NL
04 / Van De Mast, Franciscus
Hertensprong 4
5646 BD Eindhoven / NL
05 / Janssen, Gerardus
Vlasven 14
5645 KM Eindhoven / NL
 [2012/09]
Representative(s)Corcoran, Gregory Martin Mason, et al
ASML Netherlands B.V.
Corporate Intellectual Property
De Run 6501
P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
[N/P]
Former [2012/52]Corcoran, Gregory Martin Mason, et al
ASML Netherlands B.V. Corporate Intellectual Property P.O. Box 324
5500 AH Veldhoven / NL
Former [2012/09]Corcoran, Gregory Martin Mason
ASML Netherlands B.V. CIP De Run 6501
5504 DR Veldhoven / NL
Application number, filing date11174617.820.07.2011
[2012/09]
Priority number, dateUS20100376653P24.08.2010         Original published format: US 376653 P
[2012/09]
Filing languageEN
Procedural languageEN
PublicationType: A1 Application with search report 
No.:EP2423749
Date:29.02.2012
Language:EN
[2012/09]
Type: B1 Patent specification 
No.:EP2423749
Date:11.09.2013
Language:EN
[2013/37]
Search report(s)(Supplementary) European search report - dispatched on:EP12.10.2011
ClassificationIPC:G03F7/20
[2012/09]
CPC:
G03F7/70341 (EP,KR,US); H01L21/0274 (KR); G03F7/70916 (US);
G03F7/70608 (US); G03F7/70683 (US); G03F7/70775 (EP,KR,US);
G03F7/7085 (EP,KR,US); G03F7/70908 (EP,KR,US) (-)
Designated contracting statesAL,   AT,   BE,   BG,   CH,   CY,   CZ,   DE,   DK,   EE,   ES,   FI,   FR,   GB,   GR,   HR,   HU,   IE,   IS,   IT,   LI,   LT,   LU,   LV,   MC,   MK,   MT,   NL,   NO,   PL,   PT,   RO,   RS,   SE,   SI,   SK,   SM,   TR [2012/09]
TitleGerman:Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung[2012/09]
English:A lithographic apparatus and device manufacturing method[2012/09]
French:Appareil lithographique et procédé de fabrication d'un dispositif[2012/09]
Examination procedure17.08.2012Amendment by applicant (claims and/or description)
17.08.2012Examination requested  [2012/39]
21.02.2013Communication of intention to grant the patent
18.06.2013Fee for grant paid
18.06.2013Fee for publishing/printing paid
Divisional application(s)The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is  21.02.2013
Opposition(s)12.06.2014No opposition filed within time limit [2014/34]
Fees paidRenewal fee
22.07.2013Renewal fee patent year 03
Opt-out from the exclusive  Tooltip
competence of the Unified
Patent Court		 See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition  TooltipHU20.07.2011
AL11.09.2013
AT11.09.2013
BE11.09.2013
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