Deutsch English Français

Contact

EP2793083

European procedure

Quick help

Maintenance news

Scheduled maintenance

Regular maintenance outages:
between 05.00 and 05.15 hrs CET (Monday to Sunday).

Other outages
Availability
Register Forum

2022.02.11

More...

News flashes

News flashes

New version of the European Patent Register - SPC information for Unitary Patents.

2024-03-06

More...

Extract from the Register of European Patents

EP About this file: EP2793083

EP2793083 - Holder, lithography apparatus, and method of manufacturing article [Right-click to bookmark this link]
Status	No opposition filed within time limit Status updated on 24.01.2020 Database last updated on 17.05.2024
Former	The patent has been granted Status updated on 15.02.2019
Former	Grant of patent is intended Status updated on 18.11.2018
Most recent event Tooltip	01.07.2022	Lapse of the patent in a contracting state New state(s): MK	published on 03.08.2022 [2022/31]
Applicant(s)	For all designated states CANON KABUSHIKI KAISHA 30-2, Shimomaruko 3-chome Ohta-ku Tokyo 146-8501 / JP
	[2014/43]
Inventor(s)	01 / Koya, Shigeo c/o CANON KABUSHIKI KAISHA 30-2, Shimomaruko 3-chome Ohta-ku, Tokyo / JP
	[2014/43]
Representative(s)	Williamson, Brian Canon Europe Limited European Patent Department 3 The Square Stockley Park Uxbridge, Middlesex UB11 1ET / GB
	[N/P]
Former [2014/43]	Williamson, Brian Canon Europe Ltd European Patent Department 3 The Square Stockley Park Uxbridge, Middlesex UB11 1ET / GB
Application number, filing date	14162005.4	27.03.2014
	[2014/43]
Priority number, date	JP20130076459	01.04.2013 Original published format: JP 2013076459
	[2014/43]
Filing language	EN
Procedural language	EN
Publication	Type:	A1 Application with search report
	No.:	EP2793083
	Date:	22.10.2014
	Language:	EN
	[2014/43]
	Type:	B1 Patent specification
	No.:	EP2793083
	Date:	20.03.2019
	Language:	EN
	[2019/12]
Search report(s)	(Supplementary) European search report - dispatched on:	EP	23.09.2014
Classification	IPC:	G03F7/20	[2014/43]
	CPC:	G03F7/707 (EP,KR,US); H01L21/6838 (EP,KR,US); G03F7/20 (US); B25B11/005 (EP,KR,US); G03F7/70716 (KR,US); H01L21/6875 (EP,KR,US)
Designated contracting states	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2015/23]
Former [2014/43]	AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR
Title	German:	Halter, Lithographievorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels	[2014/43]
	English:	Holder, lithography apparatus, and method of manufacturing article	[2014/43]
	French:	Support, appareil de lithographie, et procédé de fabrication d'article	[2014/43]
Examination procedure	18.12.2014	Amendment by applicant (claims and/or description)
	22.04.2015	Examination requested [2015/23]
	19.11.2018	Communication of intention to grant the patent
	06.02.2019	Fee for grant paid
	06.02.2019	Fee for publishing/printing paid
	06.02.2019	Receipt of the translation of the claim(s)
Divisional application(s)	The date of the Examining Division's first communication in respect of the earliest application for which a communication has been issued is 19.11.2018
Opposition(s)	02.01.2020	No opposition filed within time limit [2020/09]
Fees paid	Renewal fee
	31.03.2016	Renewal fee patent year 03
	31.03.2017	Renewal fee patent year 04
	03.04.2018	Renewal fee patent year 05
Opt-out from the exclusive Tooltip competence of the Unified Patent Court	See the Register of the Unified Patent Court for opt-out data
	Responsibility for the accuracy, completeness or quality of the data displayed under the link provided lies entirely with the Unified Patent Court.
Lapses during opposition Tooltip	HU	27.03.2014
	AL	20.03.2019
	CY	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	DK	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	MK	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SI	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	TR	20.03.2019
	IE	27.03.2019
	LU	27.03.2019
	MT	27.03.2019
	BE	31.03.2019
	CH	31.03.2019
	LI	31.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
	[2022/31]
Former [2021/33]	HU	27.03.2014
	AL	20.03.2019
	CY	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	DK	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SI	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	TR	20.03.2019
	IE	27.03.2019
	LU	27.03.2019
	MT	27.03.2019
	BE	31.03.2019
	CH	31.03.2019
	LI	31.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2021/26]	AL	20.03.2019
	CY	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	DK	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SI	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	TR	20.03.2019
	IE	27.03.2019
	LU	27.03.2019
	MT	27.03.2019
	BE	31.03.2019
	CH	31.03.2019
	LI	31.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2020/29]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	DK	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SI	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	TR	20.03.2019
	IE	27.03.2019
	LU	27.03.2019
	MT	27.03.2019
	BE	31.03.2019
	CH	31.03.2019
	LI	31.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2020/17]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	DK	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SI	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	TR	20.03.2019
	IE	27.03.2019
	LU	27.03.2019
	BE	31.03.2019
	CH	31.03.2019
	LI	31.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2020/11]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	DK	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SI	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	IE	27.03.2019
	LU	27.03.2019
	BE	31.03.2019
	CH	31.03.2019
	LI	31.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2020/09]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	DK	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	IE	27.03.2019
	LU	27.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2020/07]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	MC	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	LU	27.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2020/04]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	LU	27.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	IS	20.07.2019
	PT	20.07.2019
Former [2019/52]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	PL	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	SM	20.03.2019
	LU	27.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	PT	20.07.2019
Former [2019/49]	AL	20.03.2019
	CZ	20.03.2019
	EE	20.03.2019
	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	RO	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	SK	20.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	PT	20.07.2019
Former [2019/48]	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
	PT	20.07.2019
Former [2019/47]	ES	20.03.2019
	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
Former [2019/39]	FI	20.03.2019
	HR	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	LV	20.03.2019
	RS	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
Former [2019/38]	FI	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	BG	20.06.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
Former [2019/37]	FI	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	NO	20.06.2019
	GR	21.06.2019
Former [2019/34]	FI	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	SE	20.03.2019
	NO	20.06.2019
Former [2019/33]	FI	20.03.2019
	LT	20.03.2019
	NO	20.06.2019
Documents cited:	Search	[XA]JP2000286330 (HOYA CORP) [X] 1,8-10 * abstract * * figures 1,2 * * paragraphs [0001] , [0041] - [0047] * [A] 2-7;
		[XA]JP2003332411 (NIKON CORP) [X] 1,8-10 * abstract * * figures 1-4 * * paragraphs [0001] , [0015] - [0027] * [A] 2-7;
		[A]JP2007273693 (NIKON CORP) [A] 1-10 * abstract * * figures 1,2 ** paragraphs [0001] , [0018] - [0033] *;
		[A]JP2009206455 (NIHON CERATEC CO LTD) [A] 1-10 * abstract * * figures 1-4 * * paragraphs [0001] , [0008] - [0018] *;
		[A]WO2011065386 (NSK LTD [JP], et al) [A] 1-10 * abstract * * figures 1-6 *
	by applicant	JP2004140071

The EPO accepts no responsibility for the accuracy of data originating from other authorities; in particular, it does not guarantee that it is complete, up to date or fit for specific purposes.

Legal notice
Terms of use
24.1.24; 34p