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EP4415028
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Auszug aus dem europäischen Patentregister
EP Übersicht: EP4415028
| EP4415028 - FILMBILDUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES KRISTALLINEN HALBLEITERFILMS DAMIT [Mit Rechtsklick auf diesen Link können Sie ein Bookmark anlegen.] | Status | Prüfungsantrag gestellt Status aktualisiert am 12.07.2024 Datenbank zuletzt aktualisiert am 24.03.2026 | |
| Frühere | Veröffentlichung bereits erfolgt Status aktualisiert am 14.04.2023 | Letztes Ereignis Tooltip | 21.01.2026 | Ergänzender Recherchenbericht | veröffentlicht am 18.02.2026 [2026/08] | Anmelder | Für alle benannten Staaten SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 4-1, Marunouchi 1 chome Chiyoda-ku Tokyo 1000005 / JP | Für alle benannten Staaten Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. 9 Kanda-nishiki-cho 2-chome Chiyoda-ku Tokyo 101-0054 / JP | [N/P] |
| Frühere [2024/33] | Für alle benannten Staaten SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 4-1, Marunouchi 1 chome Chiyoda-ku Tokyo 1000005 / JP | ||
| Für alle benannten Staaten Shin-etsu Engineering Co., Ltd. 9 Kanda Nishikicho 2-chome Chiyoda-ku Tokyo 101-0054 / JP | Erfinder | 01 /
HASHIGAMI, Hiroshi Annaka-shi, Gunma 379-0195 / JP | 02 /
KOJIMA, Muneyuki Annaka-shi, Gunma 379-0127 / JP | [2024/33] | Vertreter | Mooser, Sebastian Thomas Wuesthoff & Wuesthoff Patentanwälte und Rechtsanwalt PartG mbB Schweigerstraße 2 81541 München / DE | [2024/33] | Anmeldenummer, Anmeldetag | 22878146.4 | 29.06.2022 | [2024/33] | WO2022JP25860 | Prioritätsnummer, Prioritätstag | JP20210165618 | 07.10.2021 Ursprünglich veröffentlichtes Format: JP 2021165618 | [2024/33] | Anmeldesprache | JA | Verfahrenssprache | EN | Veröffentlichung | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | WO2023058273 | Datum: | 13.04.2023 | Sprache: | JA | [2023/15] | Art: | A1 Anmeldung mit Recherchenbericht | Nr.: | EP4415028 | Datum: | 14.08.2024 | Sprache: | EN | [2024/33] | Recherchenbericht(e) | Internationaler Recherchenbericht - veröffentlicht am: | JP | 13.04.2023 | (Ergänzender) europäischer Recherchenbericht - versandt am: | EP | 20.01.2026 | Klassifikation | IPC: | H01L21/365, H01L21/368 | [2024/33] | CPC: |
H10P14/24 (EP,US);
H10P14/60 (EP,KR);
C23C16/40 (EP,US);
C23C16/4412 (EP,US);
C23C16/4486 (EP,US);
C23C16/45512 (US);
C23C16/4583 (EP,US);
C23C16/46 (EP,US);
H10P14/265 (EP);
H10P14/3411 (EP);
H10P14/3434 (EP,US);
H10P72/0402 (KR);
| Benannte Vertragsstaaten | AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LI, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR [2024/33] | Bezeichnung der Erfindung | Deutsch: | FILMBILDUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES KRISTALLINEN HALBLEITERFILMS DAMIT | [2024/33] | Englisch: | FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM USING SAME | [2024/33] | Französisch: | APPAREIL DE FORMATION DE FILM ET PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM SEMI-CONDUCTEUR CRISTALLIN FAISANT INTERVENIR CET APPAREIL | [2024/33] | Eintritt in die regionale Phase | 27.03.2024 | Übersetzung eingereicht | 27.03.2024 | Nationale Grundgebühr entrichtet | 27.03.2024 | Recherchengebühr entrichtet | 27.03.2024 | Benennungsgebühr(en) entrichtet | 27.03.2024 | Prüfungsgebühr entrichtet | Prüfungsverfahren | 27.03.2024 | Prüfungsantrag gestellt [2024/33] | 13.11.2024 | Änderung durch den Anmelder (Ansprüche und/oder Beschreibung) | Entrichtete Gebühren | Jahresgebühr | 27.03.2024 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 03 | 20.05.2025 | Jahresgebühr entrichtet Patentjahr 04 |
| Ausschluss der ausschließlichen Tooltip Zuständigkeit des Einheitlichen Patentgerichts | Zu den entsprechenden Daten siehe das Register des Einheitlichen Patentgerichts | ||
| Die Verantwortung für die Richtigkeit, Vollständigkeit oder Qualität der unter dem Link angezeigten Daten liegt allein beim Einheitlichen Patentgericht. | Angeführte Dokumente: | Recherche | [XIY] JP6925548 (信越化学工業株式会社) [X] 1,7,9 * paragraphs [0049] , [0073] , [0 53] - [0063]; figure 1 *[I] 10 [Y] 2-6,8 | [Y] JP2004158554 (RORZE CORP et al.) [Y] 2,4-5 * paragraphs [0009] , [0010] , [0017] - [0019]; figure 3 * | [Y] JP2021136445 (SHINETSU CHEMICAL CO et al.) [Y] 3 * paragraph [0048]; claim 1 * | [Y] JPH07245265 (FUJITSU LTD et al.) [Y] 6 * paragraph [0028]; figure 2 * | [Y] JP2020174153 (SHINETSU CHEMICAL CO et al.) [Y] 8 * paragraphs [0049] , [0050] * | Internationale Recherche | [YX] JP6925548 (信越化学工業株式会社) [Y] 2-6, 8, 10 * paragraphs [0034]-[0059], fig. 1 *[X] 1, 7, 9 | [Y] JP2004158554 (RORZE CORP et al.) [Y] 2-5 * paragraphs [0009]-[0019], fig. 3 * | [Y] JPH07245265 (FUJITSU LTD et al.) [Y] 6 * paragraphs [0013]-[0015], fig. 1 * | [Y] JP2020174153 (SHINETSU CHEMICAL CO et al.) [Y] 8 * paragraph [0070] * | [Y] JP2012119591 (FUJI ELECTRIC CO LTD et al.) [Y] 10 * paragraph [0168] * | vom Anmelder | JP2013028480 | JP2020107636 | JP2020188170 |